Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9298284 à vendre en France
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LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher conçu pour fournir une plate-forme efficace et fiable pour la gravure et le traitement des cendres de divers matériaux pour un large éventail d'applications. Flex 45 offre une configuration à deux chambres avec les deux chambres optimisées pour les opérations de gravure et de cendres. Sa première chambre utilise un environnement à basse pression et à vide élevé pour nettoyer la plaquette de contaminants avant la gravure. La deuxième chambre est optimisée pour assurer le contrôle du plasma et l'uniformité des opérations de gravure/cendres. LAM RESEARCH Flex 45 offre une large gamme de caractéristiques qui permettent une gravure précise et uniforme et des résultats de cendres sur plusieurs tailles de plaquettes. En particulier, le protocole d'automatisation avancé permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement et facilement les recettes de gravure, en utilisant le logiciel intuitif de menu. Flex 45 comprend également une variété de capteurs et de moniteurs pour s'assurer que les conditions sont correctement maintenues afin de garantir les plus hauts niveaux de performance. LAM RESEARCH Flex 45 est équipé d'une large gamme de composants et de matériaux de traitement pour des capacités de gravure flexibles, y compris une source d'énergie radio-fréquence de haute puissance, des modèles de mandrins multiples pour les chambres verticales et horizontales, et de nombreux systèmes de distribution de gaz. Ces composants sont combinés avec le système propriétaire de contrôle des cendres et des gravures à double zone de Flex 45, qui peut être utilisé pour moduler le temps de gravure, la pression du gaz et les températures afin d'optimiser le processus de gravure et les cendres pour des matériaux et applications spécifiques. LAM RESEARCH Flex 45 offre également une gamme de dispositifs de sécurité pour protéger le personnel de tout danger potentiel. Ces caractéristiques comprennent la capacité d'arrêt d'urgence automatisé en cas d'alarme, la capacité de surveiller les gaz de processus, les niveaux de vide et la température, ainsi qu'un système intégré de contrôle d'accès pour limiter l'accès à des zones spécifiques. En combinant une technologie de gravure/cendres de précision, des capacités d'automatisation avancées et des caractéristiques de sécurité robustes, Flex 45 est une plate-forme idéale pour un traitement rapide et efficace. LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher fiable et flexible, offrant aux utilisateurs des résultats reproductibles et les plus hauts niveaux de performance sur plusieurs matériaux.
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