Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9308360 à vendre en France
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ID: 9308360
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
System, 12"
(4) Chambers
2009 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45 est un équipement hautement performant, entièrement automatisé, conçu pour une gamme d'applications avancées. Flex 45 est un système de graveur/asher avancé basé sur une technologie multifonctionnelle programmable par processus. Il est conçu pour une uniformité de gravure maximale, la flexibilité et la productivité pour une variété d'applications de gravure/ashing. L'unité est conçue pour permettre une précision exceptionnelle et une uniformité dispositif à dispositif, même lors du traitement de structures 3D de plus en plus complexes et sensibles. La machine est équipée d'un ensemble complet de processus puissants et de fonctions de contrôle de sécurité qui permettent aux utilisateurs d'optimiser leurs résultats de gravure/ashing souhaités. Il est conçu avec des microprocesseurs brevetés et des logiciels propriétaires qui fournissent une rétroaction rapide et précise pour la maintenance et le contrôle des processus. LAM RESEARCH Flex 45 est conçu pour une haute précision, un débit élevé et une conversion de surface des plaquettes de haute qualité. Flex 45 est un outil efficace et peu coûteux qui offre un débit élevé et des résultats de gravure/cendres de haute précision avec moins d'exigences d'utilisation chimique. La conception des actifs permet un faible débit de particules, un faible niveau de contamination métallique de fond et un passage facile du mode chimique au mode gaz. Il dispose d'un délai de conversion extrêmement rapide, d'un taux de dépôt réglable manuellement et d'une large fenêtre de processus. Le modèle offre la flexibilité nécessaire pour traiter une large gamme de tailles et de matériaux de plaquettes, y compris les monoplaces et doubles faces, les interconnexions haute densité, le SiC, le GaN et d'autres matériaux. LAM RESEARCH Flex 45 fournit une gamme de modules de processus de gravure/cendres haute performance personnalisés selon l'application, y compris le lisier CMP, PECVD et ALD. Flex 45 offre également une solution avancée de nettoyage et de gravure. La technologie spécialisée d'auto-nettoyage in situ sans contact aide à réduire la contamination et augmente les performances des appareils. Les fonctions de contrôle et d'entretien automatisés de l'équipement simplifient le fonctionnement et minimisent les temps d'arrêt, assurant une disponibilité maximale et des économies. LAM RESEARCH Flex 45 est idéal pour les applications avancées de gravure. Il s'agit d'un système de graveur/asher chimique entièrement automatisé et performant offrant un ensemble complet de caractéristiques, permettant des résultats de gravure/ashing fiables et de haute précision. Flex 45 est conçu pour offrir un maximum de flexibilité, d'uniformité et de productivité, tout en réduisant les coûts et les déchets de produits chimiques et de matériaux.
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