Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9315038 à vendre en France
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LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur et asher de pointe conçu pour des vitesses de gravure ultra élevées et une uniformité de processus optimale. Ce dispositif assure un retrait supérieur des couches de matériaux avec Uniflex Direct Etch, tout en offrant un profil exceptionnel et un contrôle de chargement. Flex 45 est également capable de réaliser presque n'importe quelle chimie de gravure dans sa vaste gamme de procédés. Il offre la synchronisation de précision de plusieurs étapes de processus en une seule fois, ainsi que la capacité de manipuler une gamme de substrats y compris des feuilles métalliques. LAM RESEARCH Flex 45 est équipé d'un équipement propriétaire haute pression capable de fournir jusqu'à 90mTorr pression de chambre pour un fonctionnement plus efficace. Ceci est combiné à un ensemble d'étages de transport à actionnement électromagnétique pour fournir un décalage de vitesse rapide et précis. L'uniformité optimale des procédés est obtenue grâce à un système breveté de distribution de gaz céramique à trois zones, avec la capacité de cibler avec précision les transitoires de gravure, à la fois localement et globalement. Flex 45 dispose également d'une unité de contrôle de processus en boucle fermée moderne qui fournit précision et répétabilité pour les processus de gravure. Cette machine comprend un contrôleur de recette de processus, un outil de contrôle de gaz avancé, des rapports avancés et le suivi des fonctions matérielles, ainsi que la capacité de contrôler plusieurs substrats en une seule fois. LAM RESEARCH Flex 45 est conçu pour une capacité maximale lors de la gravure d'une gamme de substrats, y compris des couches épaisses de plaquettes de silicium, des substrats flexibles, des films minces, des feuilles métalliques et des substrats organiques. Il offre des profils de gravure très reproductibles sur une large gamme de produits chimiques de gravure. Ceci peut être utilisé pour une gamme d'applications incluant gravure profonde, gravure à haut rapport d'aspect, gravure aveugle, et tranchées. L'appareil convient également pour la croissance cristalline, la fabrication de dispositifs OLED, le soudage de fils, les dispositifs MEMS, le dépôt de couches minces, et plus encore. Flex 45 est conçu avec des commandes logicielles conviviales et une interface utilisateur graphique pour un maximum de commodité. Son outil de sécurité avancé offre également une couche supplémentaire de protection. Ce dispositif est également capable d'effectuer une production à grande vitesse très précise avec une intervention humaine minimale. Grâce à son excellente uniformité de processus et à son modèle de contrôle riche en fonctionnalités, LAM RESEARCH Flex 45 est un choix idéal pour toute application de gravure/cendres nécessitant une fiabilité et une reproductibilité cohérentes.
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