Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9315040 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer une grande variété de processus de gravure et de cueillette, y compris la gravure plasma, la gravure PRAM, le broyage ionique, la gravure en arrière, et plus encore. Il est optimisé pour les procédés de gravure et de cendrage en couches minces. Flex 45 est un équipement multi-processus équipé d'une armoire à gaz auto-porte. Cette fonctionnalité permet une optimisation multi-chambres avec une large gamme de la chimie de gravure de plasma, gaz de procédé, pression, et la puissance du système. Cette unité est destinée à être utilisée avec des conditionnements simples à multiples, ce qui la rend adaptée à une variété de procédés et de matériaux. LAM RESEARCH Flex 45 a un design de chambre modulaire, permettant une flexibilité avec des configurations jusqu'à 4 chambres. Il comprend également une chambre de gravure à ultra-haut vide (UHV) avec une pompe turbo en option, permettant des processus de chambre profonde. En outre, la chambre peut être configurée avec un module RF/DC et des modules de bus d'étape pour le fonctionnement multi-processus. Cette machine dispose d'une alimentation RF numérique basse tension pour la commande des processus de gravure/cueillette. Il est conçu pour une répétabilité fiable et précise des processus basée sur la cartographie externe ou interne des plaquettes. Cela permet des augmentations répétables du rendement wafer-by-wafer. De plus, le Flex 45 est équipé d'un outil de pompage à vide et d'un protocole de rinçage qui aide à maintenir une chambre propre et sans excès. LAM RESEARCH Flex 45 est conçu pour un fonctionnement fiable et la durabilité. Il comprend des capacités diagnostiques avancées et des mesures de tolérance aux défauts pour assurer la répétabilité et la longévité du processus de gravure/ashing. En outre, il dispose d'une interface utilisateur graphique tactile qui permet aux opérateurs de contrôler directement les processus de gravure/cueillette. Cette fonction permet d'assurer un contrôle précis pour augmenter le rendement et l'efficacité. En conclusion, Flex 45 est un graveur/asher très avancé qui est optimisé pour les procédés de gravure et de cendrage en couches minces. Il est doté d'une chambre modulaire, d'une alimentation RF numérique basse tension, d'une turbomachine en option et d'une interface écran tactile. Cet actif est conçu pour des opérations fiables, reproductibles et efficaces, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement avancé des semi-conducteurs.