Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9315041 à vendre en France
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LAM RESEARCH Flex 45 est un équipement de graveur/asher puissant, rapide et flexible, idéal pour une variété d'applications de micro- et nano-fabrication. Il offre une large gamme d'options de processus pour les processus de gravure et de cendres, y compris la gravure par plasma humide et sec et le nettoyage des cendres. Le système est capable de graver, de soutirer et d'inactiver divers matériaux, notamment des métaux, des diélectriques, des films de polymères et des conducteurs. Flex 45 offre une excellente répétabilité du procédé et permet un contrôle précis des profils de gravure et du contrôle de surface du produit fini. Il dispose d'une unité de contrôle de revêtement automatisé qui assure la cohérence entre les différentes opérations et des recettes de gravure et de cendres stables, ainsi que des réglages de paramètres automatisés pour l'optimisation des processus. Cela permet d'assurer un processus cohérent et des résultats répétables. LAM RESEARCH Flex 45 dispose également d'une grande chambre de processus avec une large gamme de pressions, de températures et de flux de gaz disponibles pour permettre des conditions de processus spécifiques. Cela le rend idéal pour une variété de matériaux, allant des métaux aux diélectriques, ainsi que divers procédés de dépôt tels que les pulvérisateurs, l'évaporation, le PECVD et le CVD. La machine offre également de la flexibilité dans sa configuration matérielle. Il peut être configuré pour répondre aux besoins spécifiques des clients, avec des options pour les puissances supérieures, chambres plus grandes, chambres multiples, cloches étendues, et d'autres configurations de matériel sur mesure. Dans l'ensemble, Flex 45 est un excellent outil de graveur/asher qui offre un contrôle précis sur les profils de gravure, le contrôle de surface et la répétabilité dans de nombreux types d'applications de processus. Il est polyvalent et peut être configuré pour répondre aux besoins spécifiques des clients. LAM RESEARCH Les performances rapides de Flex 45, la grande chambre de processus et une large gamme d'options de processus en font un choix idéal pour les applications de micro- et nano-fabrication.
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