Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9351376 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est un équipement de graveur/asher flexible et évolutif conçu pour répondre à une grande variété de besoins de nettoyage, gravure et ashing plasma. Le système est capable d'effectuer divers processus en une seule fois, tels que la gravure par pulvérisation, la gravure par plasma, le nettoyage oxydatif et la gravure à sec profond. Il est livré avec une interface utilisateur intuitive qui permet un fonctionnement facile et une configuration pratique des recettes pour diverses applications. Ses capacités avancées aident à minimiser les déchets et maximisent la répétabilité des processus. L'unité dispose d'une conception modulaire qui permet aux utilisateurs de configurer plusieurs chambres de processus fournissant des solutions flexibles et fiables pour une variété de besoins de gravure. Il est équipé d'une source de procédé haute performance qui permet le fonctionnement simultané de jusqu'à huit chambres à plasma avec deux alimentations. Les chambres sont équipées individuellement du matériel nécessaire, des moniteurs vidéo, des pyromètres infrarouges pour le contrôle de la température et des alimentations RF pour le contrôle indépendant des processus. La machine assure une coordination efficace des processus plasmatiques séquentiels et simultanés avec des recettes plasmatiques manuelles et programmables. Flex 45 est livré avec un outil de contrôle de processus avancé qui permet des processus de haute qualité avec rétroaction en temps réel et réglage des paramètres de processus. Son module de dépôt en couches minces prêt à l'emploi simplifie le processus de dépôt et permet un contrôle précis de l'épaisseur, de la composition et de la contrainte. Son intégration avancée des logiciels permet de contrôler et de gérer efficacement les données des recettes, l'optimisation des processus et les séquences de nettoyage. L'actif est équipé de systèmes supérieurs de contrôle du vide et de pompage, assurant des processus précis et reproductibles dans un large éventail d'applications de gravure. Il dispose également d'une buse de plongée automatique pour un emplacement précis des plaquettes, d'une tête de douche à grande vitesse avec une large fenêtre de processus et d'un modèle de recyclage embarqué pour minimiser la contamination de type n et p. LAM RESEARCH Flex 45 est capable de manipuler une grande variété de substrats, dont le silicium, le quartz, l'arséniure de gallium et le germanium. Dans l'ensemble, Flex 45 est une solution idéale pour un traitement flexible et fiable de différents substrats. Grâce à sa capacité de procédé avancée, ses systèmes de contrôle et ses systèmes de contrôle environnemental avancés, il peut facilement répondre aux besoins de diverses applications de gravure et de nettoyage.