Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9358663 à vendre en France
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LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher de pointe conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement plasma à double source, permettant un dépôt optimal de matériaux sur plaquettes. Il s'agit d'un système entièrement automatisé, incorporant un loadlock qui permet des changements rapides de plaquettes et une chasse automatique qui maintient la chambre de processus propre pendant les longs cycles de production. Flex 45 utilise des capteurs infrarouges de précision et des logiciels de contrôle avancés pour surveiller avec précision l'environnement de traitement. LAM RESEARCH Flex 45 dispose d'une chambre de process avec un intérieur de .85m2, réglé à une pression de 200pTorr. Il utilise également un réseau d'appariement RF avancé et des commandes logicielles pour ajuster précisément la puissance RF optimale pour chaque recette de processus. Il en résulte une très grande stabilité et répétabilité du procédé ainsi qu'une meilleure uniformité du plasma et un meilleur bruit à basse fréquence induit par le plasma. Flex 45 est conçu pour atteindre les normes les plus élevées de qualité et de fiabilité. Il est conçu pour intégrer un certain nombre de fonctions de sécurité avancées, telles que le verrouillage de sécurité E-Stop, avec récupération automatique après l'arrêt d'urgence, ainsi qu'une suite complète de systèmes de verrouillage externes et internes. Sa surveillance prédictive de la santé garantit également une production ininterrompue. LAM RESEARCH Flex 45 dispose également d'un sous-système de distribution de gaz hautement performant. Il peut supporter jusqu'à quatre sources de gaz simultanément, et est conçu pour une consommation de gaz à faible coût par tranche. Il utilise un réseau de distribution de gaz robuste, ainsi qu'une unité propriétaire de purge de gaz pour réduire la production de particules et maintenir la pureté du procédé. Flex 45 comprend également une machine de gestion des recettes, permettant aux utilisateurs de gérer, stocker et analyser les recettes dans la base de données et de les utiliser pour configurer les étapes du processus. Cela aide à améliorer l'utilisation des outils et à maintenir le temps de disponibilité des outils. Enfin, LAM RESEARCH Flex 45 est soutenue par le dévouement de LAM RESEARCH au service à la clientèle et à la satisfaction. Il est soutenu par une gamme complète de services d'assistance à la clientèle et est livré avec une garantie d'un an. Bref, le Flex 45 est un excellent choix pour vos besoins de gravure et d'ashing.
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