Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9358666 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est une solution avancée de graveur et d'asher conçue pour une grande variété d'applications telles que le dépôt, la gravure, la planarisation et l'exposition par contact. C'est une plate-forme puissante et robuste qui peut accueillir des substrats jusqu'à 12 pouces et un maximum de 4 plaquettes. Flex 45 utilise la technologie Plasma Expression™ pour aider à atteindre les performances de gravure et de cendrage idéales et la répétabilité, avec un fonctionnement sans défaut absolu. En outre, l'équipement est équipé des dernières caractéristiques de sécurité pour améliorer la sécurité des processus et des opérateurs. LAM RESEARCH Flex 45 est conçu pour des performances de haute fiabilité et une efficacité de production avec une large gamme d'options pour améliorer les performances et la productivité. Il dispose d'un contrôleur avancé qui assure l'optimisation et l'intégration des processus en temps réel, avec un contrôle dynamique des processus. Le système de contrôle des gaz de procédé est capable de chauffer le substrat latéral, et supporte une large gamme de recettes et de profils de processus qui peuvent être facilement transférés entre les systèmes. L'unité est également équipée d'une machine automatisée de manutention des plaquettes qui peut transférer jusqu'à 4 substrats simultanément. La technologie d'automatisation intégrée à l'intérieur de Flex 45 assure également la répétabilité des processus de gravure et d'ashing. LAM RESEARCH Flex 45 dispose également d'un réacteur à plasma à double paroi avec un réseau de 7 capteurs pour la mesure de la température et le contrôle de l'uniformité. Ceci permet un ajustement précis des paramètres plasmatiques avec un alignement automatique et une évaluation en temps réel de l'uniformité du plasma. Flex 45 est également livré avec un outil d'interception de sécurité avancé qui comprend plusieurs niveaux de sécurité et de contrôles d'urgence, ainsi que la commande de générateur hyperfréquence haute pression et l'arrêt d'urgence. En termes de productivité, LAM RESEARCH Flex 45 dispose d'un outil de transfert de plaquettes à haut rendement pour améliorer le débit, ainsi que d'un modèle d'enregistrement automatisé des données pour la validation et l'optimisation des processus en temps réel. L'équipement comprend également une technologie exclusive Recipe Optimization™ (RO™) qui permet aux utilisateurs d'identifier rapidement la recette de processus optimale et de maximiser le débit sans sacrifier la qualité du processus. Dans l'ensemble, Flex 45 est une solution avancée de graveur et asher conçue pour des performances de haute fiabilité et une efficacité de production. Il dispose d'un contrôleur avancé avec collecte de données en temps réel, d'un réacteur à plasma à double paroi avec un réseau de 7 capteurs pour le contrôle de la température et de l'uniformité, et d'un système automatisé de manutention des plaquettes pour améliorer le débit. De plus, LAM RESEARCH Flex 45 comprend une technologie d'optimisation des recettes afin d'assurer des recettes de processus optimales et de maximiser le débit, ainsi qu'une unité d'interception de sécurité complète et un arrêt d'urgence pour améliorer la sécurité des procédés et des opérateurs.