Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9358687 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est une machine de gravure et de cendrage conçue principalement pour des applications de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de graver une variété de matériaux du silicium et des semi-conducteurs composés à l'aluminium et à l'or. Sa conception unique dispose d'une source thermique et de plusieurs chambres à vide, et peut traiter n'importe quelle tranche de taille jusqu'à 8 "de diamètre. Flex 45 dispose également de la capacité de contrôler les taux de gravure, la sélectivité, et obtient un haut degré de précision. LAM RESEARCH Flex 45 est piloté par un système de commande de mouvement qui séquence automatiquement la séquence des étapes de processus, y compris le biais RF et le contrôle des gaz de processus. Un pré-alignement automatique des plaquettes est également prévu pour assurer un chargement uniforme des substrats dans chaque chambre de procédé. La machine est également interfacée avec un logiciel propriétaire pour le développement de recettes et le contrôle de l'opérateur. La gravure d'une plaquette semi-conductrice est un procédé extrêmement complexe et délicat qui nécessite un contrôle précis des paramètres de gravure. La réalisation des conditions idéales exige un contrôle précis de la température, de la puissance et des débits de gaz. Flex 45 utilise une gamme polyvalente de technologies fiables et éprouvées, telles que l'énergie RF, la pulvérisation magnétron et la gravure plasma. En outre, la machine dispose d'un capteur de pression différentielle intégré (DIPS) qui surveille précisément les conditions du processus de gravure. LAM RESEARCH Flex 45 est capable de graver des plaquettes de silicium, ainsi que des semi-conducteurs composés tels que le silicium germanium et l'arséniure de gallium. Il peut également être utilisé pour la gravure de métaux durs, tels que l'aluminium et l'or. Le module de processus de Flex 45 est conçu pour être facilement intégré avec une variété de modules de processus, permettant un haut niveau de flexibilité pour personnaliser les processus de gravure. LAM RESEARCH Flex 45 est conçu pour la performance, avec l'objectif d'atteindre la meilleure qualité de gravure au coût le plus efficace possible. La machine est construite avec la sécurité et la protection de l'environnement en tête, conformément aux normes les plus élevées dans l'industrie. Flex 45 est un excellent choix pour un système de gravure et d'ashing, offrant un contrôle précis sur les processus de gravure et une flexibilité pour les recettes personnalisées.