Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9379094 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher de haute qualité conçu pour des applications de gravure plasma et de cendrage à haute performance. Cet équipement est équipé d'une chambre de 3,2 mètres et possède un plateau hexagonal de 45 cm. Il offre le débit le plus élevé, avec une charge maximale de 40 substrats, une distance de 10 cm entre chaque substrat et une capacité de gravure/recette de cendres multi-étapes jusqu'à 18 couches de profondeur. Flex 45 offre également une homogénéité supérieure et un contrôle de la définition des fonctionnalités, tout en étant extrêmement fiable et économique. Le système est équipé de plusieurs procédés plasmatiques avancés, tels que la gravure ionique réactive RF/DC/DC (RIE). Il est conçu pour des profils de gravure et de cendres avancés avec jusqu'à 18 couches de définition de caractéristiques répétables et définies. La source de plasma utilisée avec RIE est une source de RF à deux étages et à deux fréquences avec un pré-ioniseur pour minimiser les effets de passivation et permettre une bonne uniformité. En outre, cette unité offre des capacités dynamiques de réglage de fréquence et de pulsation à la machine pour obtenir des profils de gravure et de cendres supérieurs. LAM RESEARCH Flex 45 est également équipé de capacités de nettoyage in situ améliorées qui permettent un nettoyage de haute qualité des surfaces de motif avancées. Cela comprend le revêtement des parois de la chambre et la protection contre les détoxifications, les particules à base d'azote et la gravure en phase gazeuse. L'outil est également capable d'un large éventail de processus tels que le nettoyage in situ, la cuisson des parois de chambre et la pulvérisation pour assurer des performances supérieures et des résultats de haute qualité. Flex 45 est un graveur/asher très fiable et capable d'une précision et d'une précision ultra élevées, avec des résultats incroyablement reproductibles. L'actif est équipé d'un écran tactile de 4 "avec interface utilisateur graphique (UI) pour faciliter le fonctionnement. Il est logé dans une armoire étanche à la poussière et résistant à la poussière pour une meilleure protection et sécurité. En outre, il est également équipé d'un modèle de surveillance à distance pour le support à distance et l'accès sur le web. Cet équipement est également soutenu par un programme complet de service et de soutien pour assurer le maximum de temps disponible et la tranquillité d'esprit.