Occasion LAM RESEARCH Flex 45DD #9011013 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45DD est un graveur/asher conçu pour répondre à une variété de besoins de production. Il est idéal pour le traitement des plaquettes semi-conductrices dans le collage des plaquettes, la préparation des films de surface et la gravure des oxydes, entre autres utilisations. Il dispose d'une chambre PECVD, lui permettant de déposer du dioxyde de silicium et du nitrure de silicium conformes sur des plaquettes, ainsi que la capacité d'effectuer une gravure ionique réactive (RIE) pour des caractéristiques plus précises et définies. La conception flexible de Flex 45DD lui permet d'être utilisé dans une grande variété de paramètres de production, y compris flexible, continue, par lots, outil de cluster, et des applications isolées asher. LAM RESEARCH Flex 45DD utilise une zone de production pouvant atteindre 15 000 wafers, avec un débit maximum de 380 wafers par heure. Cet etcher/asher dispose d'une chambre PECVD universelle avec des vannes de régulation de débit indépendantes, permettant un contrôle précis des débits de gaz, des pressions et des températures. Il comprend également un équipement programmable de manutention des plaquettes, avec des réglages réglables de la température et de la pression, un contrôle réglable de l'écart, une rotation des plaquettes et un mode d'accord automatique piloté par recette. Cela permet un traitement précis de divers types de substrats et de plaquettes. En outre, Flex 45DD est compatible avec un large éventail de systèmes d'inspection et de métrologie, fournissant des mesures précises des processus de gravure et de dépôt. LAM RESEARCH Flex 45DD est également fiable et sûr à utiliser, en raison de ses caractéristiques de conception et des garanties intégrées du système. Il dispose d'une unité de contrôle hautement intégrée avec une multitude de fonctions de diagnostic et de sécurité intégrées qui automatise le processus et garantit que la machine reste conforme aux règles de sécurité de l'usine. L'outil dispose également d'une chambre à vide avec des jeux aériens intégrés et des systèmes de verrouillage de sécurité pour prévenir les accidents pendant le fonctionnement. De plus, un outil de nettoyage de la chambre d'ablation laser est utilisé pour assurer une performance de production optimale, tandis que les systèmes intégrés protègent les outils et les utilisateurs contre les dommages à long terme dus aux pannes de courant et aux surcharges. En conclusion, Flex 45DD est un graveur/asher fiable et efficace idéal pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Grâce à sa conception flexible, ses capacités PECVD, ses commandes réglables, sa rotation des plaquettes et son mode d'accord automatisé, il peut traiter rapidement et avec précision une variété de substrats et de types de plaquettes. Il dispose également d'une multitude de fonctions de sécurité intégrées pour assurer un fonctionnement efficace et sûr de l'outil.