Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #293628303 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est un équipement Multi-Process Etcher/Asher entièrement intégré développé par LAM RESEARCH. C'est un système avancé qui est capable de réaliser une variété de processus, tels que la gravure, le cendrage, le nettoyage, le dénudage, et la préparation de surface. L'unité est conçue avec la sécurité et la productivité à l'esprit, avec une architecture simplifiée qui assure un débit maximum et un temps d'arrêt minimal. La machine se compose de trois composants modulaires : le module de procédé, l'outil de puissance thermique, et un contrôleur. Le module de procédé est composé de deux chambres, la chambre principale et la chambre tampon. La chambre du secteur est équipée de multiples gaz de processus, de l'énergie électrique et des ports de vide et est utilisé pour le chargement et le déchargement des plaquettes. Il abrite également l'actif de distribution de gaz et l'alimentation par radiofréquence (RF). La chambre tampon utilise un contrôle thermique pour obtenir une uniformité de température optimale et une uniformité de traitement. Le modèle de puissance thermique, qui est composé d'un générateur alternatif/continu et d'un module de commutation haute tension commandé à l'état solide, est chargé de fournir l'alimentation nécessaire aux processus de gravure et de cueillette. Il assure des tensions de sortie et des fréquences cohérentes, tout en protégeant l'équipement contre les surtensions et autres anomalies électriques. Le module de commande est équipé d'un écran tactile intuitif qui permet à l'opérateur de surveiller et d'ajuster les flux de gaz de processus, la puissance RF, les conditions de la chambre et les réglages température/pression. Il comprend également une base de données intégrée pour l'enregistrement et l'examen des données, ainsi qu'une bibliothèque de recettes pour différentes demandes de processus. En outre, il fournit une bibliothèque de fonctionnalités supplémentaires telles que la gestion des recettes, le diagnostic des machines et des outils, et le contrôle du système. FLEX DS est capable de réaliser des processus de gravure et de cendrage sur une variété de substrats, tels que les plaquettes Si, les écrans plats et les pièces imprimées 3D. Il comprend également une unité de surveillance du vide qui assure une uniformité et une propreté maximales du procédé. Cette machine est conçue pour maximiser la répétabilité et la flexibilité des processus, tout en réduisant le temps consacré à la maintenance et à l'installation.