Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #293636663 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est un outil avancé de graveur/asher utilisé dans les semi-conducteurs et d'autres industries avancées pour la création de microstructures et d'autres structures complexes. Cet outil offre une uniformité de processus, tant en termes de création de profil que de maintenance de profil. FLEX DS a la capacité d'exécuter plusieurs processus de gravure ou de cueillette simultanément avec une grande précision de débit et de processus. L'outil combine des technologies de gravure/cueillette de plasma et de CVD thermique dans une configuration multi-chambres avec un mécanisme de transfert de plaquettes unique pour une grande uniformité et une cohérence de processus élevée. LAM RESEARCH FLEX DS dispose d'un système de transport à double constriction à charge ouverte de 15 pouces pour un débit élevé. Il dispose également d'un système de vide intégré et d'une architecture multi-chambres permettant la gravure multi-passe avec des recettes programmables en fonction des besoins de chaque couche ou caractéristique. Pour les applications où une haute sélectivité est requise, une chambre VHF optionnelle est disponible pour une meilleure qualité plasmatique et une meilleure sélectivité des gravures. FLEX DS est également équipé des derniers systèmes d'acquisition et de contrôle de données en temps réel pour une analyse précise et un contrôle automatisé des processus. Cela comprend un contrôleur de débit massique de quatre poches, des systèmes d'exposition aux dépôts de photons quad ou octal, ainsi que la livraison et la surveillance des gaz de traitement. Il dispose également d'un environnement d'exploitation avec de puissants outils d'automatisation qui assurent le contrôle automatique couche par couche et la cohérence des processus. LAM RESEARCH Les systèmes FLEX DS sont disponibles en plusieurs tailles et configurations pour répondre aux besoins spécifiques de différentes applications. Ses technologies de traitement sont conçues pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de fabrication et de dépôt pour des rendements et une uniformité élevés. Le système FLEX DS a été intégré dans plusieurs processus de production au niveau industriel, offrant aux clients des solutions fiables et reproductibles à haut rendement pour la fabrication de dispositifs.