Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #9271261 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est un graveur/asher conçu pour la fabrication de circuits semi-conducteurs. Utilisant des ions réactifs et des techniques avancées de gravure et de nettoyage, il crée des motifs gravés des caractéristiques souhaitées sur les substrats. Elle propose également une variété de techniques de dépôt pour la formation de couches diélectriques et le dépôt de métaux barrière/grains, de couches d'adhérence, de diélectriques, de films barrière, etc. Le FLEX DS est équipé d'une source de plasma à double source et à double fréquence, qui peut être ajustée pour fournir des processus et des résultats de gravure et de dépôt optimaux. Il dispose également d'un mode de fonctionnement multi-fréquence de sorte que diverses recettes de processus peuvent être utilisées pour différents types de substrats et de tâches. L'équipement est conçu avec une multitude de paramètres de recette pour assurer un contrôle serré du processus et un haut degré de précision. LAM RESEARCH FLEX DS etcher comprend un système de surveillance de chambre pour assurer une gravure uniforme dans les zones sources et cibles. Il est livré avec une unité de détection de bord brevetée qui détecte et élimine automatiquement les étapes de gravure sur les bords des substrats. La technologie de détection avancée assure également une faible rétention des particules et des dommages aux plaquettes. L'graveur est extrêmement polyvalent et comprend plusieurs types de procédés pour la gravure sèche et humide, le dépôt, la gravure profonde, la gravure photorésistante, le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et la gravure de films barrières. Il peut également manipuler une grande variété de substrats tels que le silicium, le GaAs, le saphir, le verre et d'autres matériaux. FLEX DS dispose également d'une architecture de machine développée en interne avec une interface conviviale avancée, permettant un contrôle facile de l'outil et la gestion des recettes. Pour maximiser l'efficacité et la productivité de l'actif, LAM RESEARCH FLEX DS etcher a été conçu pour faciliter l'entretien, la surveillance des processus et l'intégration dans les systèmes de gestion et de contrôle de la production existants. Il comprend une surveillance dynamique de l'état de l'équipement, des données détaillées sur le débit et le rendement et des rapports de lots personnalisables. De plus, FLEX DS etcher comprend un modèle avancé de gestion de flotte qui permet l'allocation automatisée des ressources. Cela réduit le temps perdu par l'opérateur en raison de la prise de décision manuelle. En résumé, LAM RESEARCH FLEX DS est un graveur/asher très avancé conçu pour la fabrication de circuits semi-conducteurs. Il est équipé de sources de plasma à double source et à double fréquence, ce qui permet d'améliorer les processus de gravure et de dépôt. L'équipement comprend également une multitude de paramètres, un système de surveillance, une unité de détection de bord, divers types de processus, une machine de gestion de flotte et des rapports personnalisés. Toutes ces fonctionnalités font de FLEX DS une solution idéale pour les entreprises qui ont besoin de capacités de gravure et de cueillette de semi-conducteurs fiables et efficaces.