Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #9311091 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est un graveur/asher avancé spécialement conçu pour fournir un débit élevé et une gravure précise sur une variété de matériaux semi-conducteurs. FLEX DS prend en charge les procédés de gravure avancés tels que la gravure à la vapeur, la gravure à sec, la gravure à l'oxyde et la cendre d'oxyde. Pour optimiser les performances des processus, LAM RESEARCH FLEX DS est conçu avec un module précis Etch Proximity Sensor qui vérifie constamment la qualité des surfaces gravées. Le système est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 600 mm, tandis que la chambre de processus est construite en acier inoxydable, améliorant ses capacités d'isolation thermique et permettant un contrôle efficace et précis de la température. Tous les processus critiques sont surveillés en temps réel par le contrôleur de pression de chambre et les algorithmes de contrôle de processus intégrés dans le système. Afin d'assurer un processus cohérent et reproductible, chaque FLEX DS est équipé du contrôle du rapport des gaz, une caractéristique qui maintient la composition gaz/vapeur de l'arbre de gravure. LAM RESEARCH FLEX DS dispose d'une tête de douche de haute technologie conçue pour optimiser le taux de rejet des matériaux gravés, tandis que sa technologie de plasma cinétique de pointe offre une résolution et des performances de gravure supérieures. La nouvelle technologie Fuzzi-Free améliore l'uniformité de la gravure en éliminant les bords flous et les variations d'angle incidentes au cours du processus de gravure. Pour garantir des résultats cohérents, FLEX DS est équipé d'une fonction brevetée de prétraitement des gaz impulsifs qui garantit des performances de gravure supérieures. Pour des raisons de sécurité et d'homogénéité, LAM RESEARCH FLEX DS est également équipé d'un dispositif d'allumage plasma unique qui peut être ajusté pour fixer différents niveaux d'énergie requis par le plasma. De plus, FLEX DS est équipé d'un couvercle SIF de retenue intelligent qui assure l'intégrité du plasma avant et après chaque cycle de gravure. Le couvercle fonctionne également comme un bouclier de sécurité et a été testé pour supporter jusqu'à 210 cycles de couple par minute. LAM RESEARCH FLEX DS est une solution idéale pour tous les types de gravures diélectriques submicroniques et basses. Grâce à sa technologie de pointe, FLEX DS offre des performances optimales et d'excellents rendements de gravure.