Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #9315255 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est une chambre de graveur et asher avancée conçue pour être utilisée dans les procédés de semi-conducteurs et de couches minces. Il est conçu pour fournir une très haute uniformité des processus de gravure et de cendres, et peut être utilisé pour la gravure humide, la gravure sèche et le processus de cendres. FLEX DS est capable de graver et d'aspirer des substrats jusqu'à 3 pouces de diamètre. Il dispose d'une température, d'une pression et d'un débit de gaz réglables. Il dispose également d'une vitesse de rotation réglable, de capteurs IR à plateaux et de commandes de puissance RF et d'appariement ICP. Il comprend également un panneau d'opération à distance pour la surveillance des paramètres du processus. La chambre est optimisée pour une large gamme de matériaux dont le silicium, l'arséniure de gallium et le nitrure de silicium. Il dispose d'un Ringer céramique complet pour une meilleure uniformité de gravure. La chambre comprend un revêtement en polyimide spécialement conçu pour assurer une profondeur de gravure uniforme et répétable. La chambre est conçue pour être compatible avec une large gamme de produits chimiques, y compris les mélanges SF6, CF4, NF3, C5F8 et He/Xe pour la gravure anisotrope en profondeur. Il est également capable de supporter le traitement sans cuisson à basse pression en utilisant des mélanges d'échappement haute et basse pression. LAM RESEARCH FLEX DS dispose d'un robot 5 axes avancé pour une manipulation précise des plaquettes. Le robot est capable de déplacer des plaquettes du loadlock à la chambre in situ, et de la chambre in situ à la salle blanche. Cela permet l'utilisation de robots SCARA, rendant encore plus facile le transfert de plaquettes. La chambre comprend un système de surveillance des plaquettes, qui est conçu pour contrôler la température et la pression des plaquettes pendant les processus de gravure et de gravure des cendres. Cela permet de s'assurer que le processus est bien contrôlé. La chambre comprend également un système de réflectométrie RF, qui aide à contrôler l'uniformité du profil de gravure. FLEX DS est une chambre de gravure et de cendrage avancée, conçue pour fournir des processus de gravure et de cendres précis avec une très haute uniformité. Il est capable de graver et d'aspirer un large éventail de matériaux. Son robot avancé pour la manutention des plaquettes le rend facile à transférer, et son système de réflectométrie RF assure une uniformité optimale du processus de gravure.