Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #9315257 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est un graveur/asher avancé configuré pour fournir une grande cohérence de débit et de processus. Il est conçu pour répondre aux besoins de petits projets de recherche et convient à des applications telles que le traitement de surface du plasma, le repli, la gravure d'oxyde et le dépôt chimique en phase vapeur. FLEX DS utilise une grande chambre de procédé et dispose d'un système propriétaire de distribution de gaz à trois zones qui est spécifiquement conçu pour fournir une gravure isotrope uniforme pour créer des structures acoustiques, optiques et électroniques. La chambre de procédé fournit également une large gamme de densité de puissance plasmatique, permettant des vitesses de gravure très efficaces et un contrôle précis de la profondeur de la couche. LAM RESEARCH FLEX DS bénéficie d'un taux de production de particules très faible, ce qui le rend adapté à des applications nécessitant des niveaux de propreté très élevés comme la fabrication de dispositifs médicaux. De plus, son système de contrôle automatisé et son logiciel intégré permettent d'optimiser facilement les recettes pour des substrats et des conditions de processus spécifiques. FLEX DS utilise une technologie d'isolation pour contenir la haute pression du procédé et pour minimiser les empreintes thermiques sur les substrats. Cette technologie d'isolation est conçue pour stabiliser efficacement l'intérieur de la chambre, en réduisant les fluctuations de température, de densité de puissance et de pression qui peuvent avoir des effets néfastes sur le processus de gravure ou de cueillette. LAM RESEARCH FLEX DS a une conception simple et modulaire qui permet un entretien facile et le dépannage pour réduire les temps d'arrêt. La chambre de procédé peut être ouverte sans avoir besoin d'outils, et elle manipule en toute sécurité les gaz dangereux avec livraison de produits chimiques dans la chambre et évacuation des gaz d'échappement. Le système dispose également d'un programme de diagnostic intégré pour détecter d'éventuels problèmes de performance avant qu'ils ne deviennent critiques. Dans l'ensemble, FLEX DS est un graveur/asher avancé avec la capacité d'exécuter une grande variété de processus avec un contrôle précis et d'excellentes performances. Il est très efficace, fiable et sûr, et il est conçu pour répondre aux besoins des projets de recherche.