Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #9351457 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS est un équipement entièrement intégré de gravure sèche/cendres spécialement conçu pour les applications avancées de traitement des semi-conducteurs. Le système FLEX DS offre une homogénéité, une répétabilité et un débit élevés pour assurer le gaspillage le plus faible possible tout en maintenant le rendement le plus élevé de la production d'appareils. L'unité est une unité modulaire, capable de fournir plusieurs séquences de processus avec uniformité et répétabilité sur chaque pièce. Il est conçu pour un rendement et une productivité optimale du dispositif, offrant des résultats supérieurs dans les processus de lithographie et de dépôt les plus difficiles. La machine dispose d'une conception avancée de chambre de gravure qui fournit une empreinte compacte, une uniformité thermique améliorée, un débit élevé et des paramètres de processus optimisés. La chambre est équipée de deux sources intégrées de plasma à couplage inductif 3-D (ICP) qui offrent une couverture supérieure sur plusieurs substrats de plaquettes. Le support de substrat est également très réglable, permettant l'utilisation de différentes tailles et formes de substrat. L'outil est capable de fournir quatre processus de gravure indépendants et trois processus de dépôt en une seule séquence, ce qui réduit le temps de cycle du processus et améliore le débit global. LAM RESEARCH FLEX DS dispose également de la technologie de moteur à entraînement direct pour un contrôle de mouvement de haute précision et reproductible sur l'ensemble de la pièce. Ceci assure l'uniformité de la vitesse de gravure, l'uniformité du dépôt et l'uniformité de l'adhérence. En outre, le modèle est équipé de systèmes avancés de métrologie et de contrôle de la rétroaction qui mesurent et contrôlent la vitesse de gravure et de dépôt en temps réel. Cela permet à l'utilisateur de sélectionner les paramètres de processus optimaux pour la pièce afin d'assurer des résultats cohérents. L'équipement intégré d'alimentation en gaz offre également un contrôle précis du rapport des gaz et la capacité d'injecter différents mélanges et concentrations de gaz. FLEX DS est un système complet de gravure/cendres conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs, offrant des performances et une fiabilité supérieures. Il s'agit d'une solution économique pour la fabrication de dispositifs haute densité qui assure un rendement et une productivité optimisés.