Occasion LAM RESEARCH FLEX DS #9401893 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX DS (anciennement connu sous le nom de « FLEX Asher ») est une solution avancée de gravure/cueillette qui fournit des résultats précis et reproductibles pour un large éventail d'applications de gravure et de cueillette. Cette plate-forme, conçue et fabriquée par LAM RESEARCH, utilise des technologies de contrôle avancées pour s'assurer que les modules de processus individuels fonctionnent de façon cohérente dans des paramètres de processus rigoureux. Il s'agit d'une capacité critique dans des applications telles que l'analyse de défaillance de semi-conducteur, de mémoire et de dispositif photomasque, car elle élimine les risques de défaillance coûteuse due à des gravures ou à des cendres incohérentes. FLEX DS est une plate-forme largement configurable qui fournit une capacité de prise en charge des applications allant de la pulvérisation RF à l'Ashing Plasma de haute puissance. Il est conçu pour fonctionner avec un large éventail de substrats, à partir d'un large éventail de matériaux. Il offre un passage rapide, un suscepteur de 16 positions et un plateau de plaquettes pour le chargement de la cassette à la cassette, et une fonction de découverte automatisée des processus pour s'assurer que les recettes définies par l'utilisateur peuvent être adaptées à différents matériaux, épaisseur et matériaux. La plateforme utilise la technologie d'optimisation automatisée des processus de LAM RESEARCH pour assurer le plus haut niveau d'optimisation et de répétabilité des processus. La technologie d'optimisation automatisée des processus utilise des algorithmes propriétaires pour surveiller et contrôler étroitement les paramètres du processus en temps réel. Cela facilite le réglage des processus de gravure ou d'ashing, permettant aux utilisateurs d'atteindre le plus haut niveau de précision. LAM RESEARCH FLEX DS soutient également des solutions de nettoyage avancées. Le système automatisé de nettoyage et de séchage assure la propreté des surfaces, ce qui facilite et accélère le transfert des plaquettes dans un autre module ou leur stockage après traitement. La plateforme intègre les diagnostics dans le système, permettant un dépannage fiable et efficace de tout problème de processus. Les protocoles de processus sont stockés et vérifiés sur le système, ce qui garantit que toutes les sorties sont traçables et fiables. En plus de ces capacités de base, la plate-forme FLEX DS offre également flexibilité et polyvalence. Cela inclut les modules multifonctionnels, la séquence de mouvement programmable et le transfert de plaquettes pour le traitement multi-étapes, et les paramètres contrôlés par logiciel pour optimiser au maximum les processus dans les applications très complexes. Avec ces fonctionnalités, LAM RESEARCH FLEX DS est idéal pour les applications de recherche, de développement et de production dans l'industrie de l'analyse des défaillances de dispositifs semi-conducteurs, mémoire et photomasques.