Occasion LAM RESEARCH Flex FS #9284287 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex FS
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
Flex FS
ID: 9284287
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Etcher, 12" 2010 vintage.
LAM RESEARCH Flex FS Asher (Etcher) est un équipement de gravure et de nettoyage perfectionné et flexible conçu pour enlever efficacement la gravure et nettoyer la résine photosensible, la résistance générale, les dépôts de polymères et autres couches minces. Le nouveau système est conçu pour répondre à des délais de livraison considérablement plus bas et la répétabilité des processus avec des problèmes supérieurs et l'assurance des fonctionnalités. La conception brevetée minimise les débris et les performances des processus qui peuvent être améliorés et maintenus au fil du temps, offrant les plus hauts niveaux de débit et d'utilisation des outils. L'offre Flex FS Asher spécifie une conception de moteur à double entraînement offrant une uniformité et une cohérence de processus supérieures. L'unité est intégrée à une machine d'imagerie haute résolution et haute densité qui permet une surveillance avancée du profil in situ en temps réel. Parmi les autres caractéristiques, on peut citer le contrôle avancé à haut niveau de courant, les compresseurs magnétiques à haut rendement, les commandes embarquées pour le dépôt, la gravure et le dépôt et le nettoyage à haut débit, l'auto-échantillonnage et d'autres options. L'architecture modulaire bien définie de LAM RESEARCH Flex FS offre aux clients une plus grande flexibilité en termes de stratégies, avec la capacité de mettre à niveau vers des produits chimiques et des procédés élargis au besoin. L'outil offre qui peut être personnalisé pour les conceptions de pointe. L'architecte atout unique de Flex FS Asher permet des processus très efficaces, fiables et reproductibles pour les plus hauts niveaux de débit et de fiabilité. Sa flexibilité permet également de réduire les coûts de fabrication, puisque le modèle LAM RESEARCH peut réaliser de nombreuses recettes de gravure complexes avec moins d'étapes. La surveillance intégrée vous permet d'analyser rapidement l'uniformité des processus, de comparer les résultats et d'identifier les problèmes potentiels au début du processus de fabrication. En optimisant la conception des impulsions, LAM RESEARCH Flex FS Asher minimise les dommages aux substrats, minimise l'impact de la charge statique, réduit les variations de processus et améliore le nettoyage avec le plasma pulsé à haute tension à recette. L'équipement est conçu pour enlever les photorésistes, polymères et autres films à motifs, y compris ceux dont la taille des longs métrages est inférieure à 180nm sans introduire de biais vers l'avant et vers l'arrière. Le système plasmatique Flex FS élimine le besoin de bains chimiques durs ou de rinçage à haute pression, économisant du temps et des ressources. LAM RESEARCH Flex FS est une unité de gravure avancée conçue pour répondre aux exigences les plus strictes pour un traitement rapide et rentable des appareils avancés. En simplifiant le processus de gravure, en accélérant la mise sur le marché et en offrant un haut niveau d'uniformité, la machine FS Asher optimise la production de l'appareil pour un rendement optimal et un délai de mise sur le marché.
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