Occasion LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270663 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM est un graveur/asher de grande surface haute performance conçu pour permettre un traitement précis et fiable. Il dispose d'un équipement de mouvement en boucle fermée multi-axes avec des étages d'inertie rapide et faible, permettant un traitement à haut débit et un fonctionnement flexible avec des résultats reproductibles. La conception unique du système permet une large gamme de cibles et des temps de cycle plus courts. FLEX FX EFEM est livré avec un panneau de gaz multi-zones et deux robinets d'isolation de chambre pour permettre une gravure rapide et précise et des étapes de cale. Les sources de plasma équipées de générateurs de radiofréquences basse pression (LP-RF) génèrent des champs magnétiques qui interagissent avec les espèces de gaz, produisant un plasma. Ce plasma est ensuite utilisé pour éliminer ou modifier des matériaux organiques et inorganiques de la surface du substrat cible. L'unité est également livrée avec un moniteur in situ haute résolution qui peut mesurer le changement de matière à travers les différentes zones de gravure et d'ashing. Ce moniteur est basé sur la spectroscopie sur plaquettes, et permet une rétroaction en temps réel sur l'avancement du processus. De plus, une machine à caméra optique de visée directe vérifie l'état du substrat pour assurer un transfert et un alignement précis du substrat sur la cible. La chambre de procédé comprend une gamme complète de recettes pour la gravure et l'ashing, et un outil de contrôle de l'uniformité supérieure. LAM RESEARCH FLEX FX EFEM offre également un contrôle de pression à chambre et étage variable, ainsi qu'un atout de contrôle de température avancé pour les chambres Etch et Ashers, offrant des conditions optimales pour une variété de matériaux. Avec son fonctionnement rapide, précis et reproductible, FLEX FX EFEM est un outil puissant pour réduire les coûts et raccourcir les délais de fabrication. Son modèle de contrôle de mouvement en boucle fermée et sa bibliothèque complète de recettes permettent d'optimiser et de surveiller soigneusement les processus, d'augmenter les rendements et de réduire les erreurs. Avec une conception hautement configurable et des capacités de contrôle avancées, LAM RESEARCH FLEX FX EFEM est l'outil parfait pour les applications de gravure ou de traitement des cendres.