Occasion LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270875 à vendre en France

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM est un équipement de pointe conçu pour la gravure de précision et d'autres applications connexes. Avec un design avancé puissant, il est un outil de procédé idéal pour une variété d'applications, telles que la gravure à haut rapport d'aspect, la nano-gravure thermique et la nano-gravure plasma. Il comprend une capacité d'assistance sous vide intégrée pour améliorer la répétabilité des processus. La plate-forme FLEX FX EFEM est spécialement conçue pour répondre aux exigences des applications de gravure et d'ashing avancées d'aujourd'hui. La conception avancée de LAM RESEARCH FLEX FX EFEM peut gérer un large éventail de rapports d'aspect de gravure élevés, de grandes surfaces et une précision d'enregistrement d'image étroite avec une répétabilité élevée. Il dispose également d'un puissant système de contrôle en boucle fermée qui surveille et maintient en permanence les paramètres du processus pour satisfaire ou dépasser les exigences du processus. Cela permet à l'unité d'atteindre les normes de performance les plus élevées. FLEX FX EFEM contient également une centrale embarquée d'outils et de processus de gravure. Ses multiples couches de matériaux peuvent aller des métaux, céramiques et isolants aux matériaux organiques et semi-conducteurs. Cette large gamme de matériaux offre à l'utilisateur la flexibilité nécessaire pour traiter différentes plaquettes avec l'assurance d'atteindre à chaque fois un haut niveau de précision. En outre, la conception avancée de la machine intègre des systèmes de protection et de nettoyage pour garantir un environnement adapté aux meilleurs processus de gravure et de cueillette possibles. LAM RESEARCH FLEX FX EFEM comprend également d'autres fonctionnalités spécialisées pour répondre à des exigences uniques. Une distribution brevetée de la ligne de plasma et de l'angle de grille optimise la réactivité du plasma pour les plus hauts niveaux de précision et de répétabilité de gravure. Il dispose également d'un contrôle de processus avancé avec des entrées de réglage définies par l'utilisateur pour un contrôle supérieur des paramètres de processus. Dans l'ensemble, FLEX FX EFEM est un outil de gravure et d'ashing avancé avec des fonctionnalités et des capacités haut de gamme. Son design puissant et ses multiples couches de matériaux permettent à l'utilisateur de graver différentes plaquettes avec l'assurance de résultats précis et reproductibles. Ses systèmes de protection et de nettoyage à bord garantissent un environnement de processus de haute qualité, tandis que ses fonctions de contrôle des processus et de spécialité assurent un contrôle total des processus et assurent les plus hauts niveaux de gravure et de précision et de répétabilité.