Occasion LAM RESEARCH Flex Fx #9270876 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex Fx (graveur/asher) est un pas en avant dans les capacités de cendrage et de gravure pour l'industrie des semi-conducteurs. Son empreinte compacte et ses multiples configurations en font un choix pour de nombreux scénarios d'intégration différents. Flex Fx est conçu pour la précision et l'uniformité dans la gravure et l'ashing des couches d'oxyde, tout en maintenant le processus serré et le contrôle de la température qui est critique pour l'optimisation précise de la lithographie et la formation avancée des dispositifs. LAM RESEARCH Flex Fx est spécialement conçu pour une production à haut volume, et offre un débit inégalé avec une large gamme de produits chimiques HF. Les sources d'alimentation de l'etcher/asher sont disponibles dans les configurations de verrouillage de charge et d'installation fixe, ce qui permet une grande flexibilité dans différents types de substrats. Le puissant générateur RF offre un contrôle plasma très efficace pour un réglage précis des processus. L'anneau de gaz N2/O2/He assure un contrôle uniforme et serré du processus. Le système de source de gaz en boucle fermée maintient également un équilibre de pression et un débit de gaz stables afin d'assurer des résultats de processus stables. Flex Fx est livré avec une grande chambre à vue claire qui supporte jusqu'à six plaquettes de 8 pouces, offrant une efficacité de traitement maximale. Une bague de protection supérieure spécialement conçue aide à protéger le dessus des chambres pour une meilleure fiabilité et répétabilité. L'unité dispose également de deux systèmes de livraison CoolPAS optionnels qui ajoutent flexibilité et répétabilité du processus. LAM RESEARCH Flex Fx fournit des processus fiables et reproductibles à la vitesse et à la précision requises pour les projets de semi-conducteurs exigeants d'aujourd'hui. Sa construction robuste et ses caractéristiques haut de gamme le rendent idéal pour tout développement ou environnement de production.