Occasion LAM RESEARCH Flex Fx #9311093 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex Fx est un graveur/asher avancé à plusieurs étages conçu pour des substrats flexibles tels que le polyimide, l'oxyde, le métal et le verre. Sa conception unique permet aux utilisateurs de graver et/ou d'asher une variété de matériaux, y compris Al, Ga et Si à l'aide d'une seule chambre. Flex Fx est équipé d'une source de plasma multi-zone, qui permet un contrôle indépendant sur le type de gravure ou de cendre, ainsi que le réglage et le réglage précis de la tension de gravure/cueillette, le courant et la chimie du gaz. LAM RESEARCH Flex Fx dispose également d'un système automatisé « SmartMow » pour l'enregistrement et l'alignement des motifs critiques. Flex Fx dispose d'une capacité de traitement thermique intégrée à deux zones. Les zones de chauffage, complétées par une capacité de refroidissement par dérivation, peuvent atteindre des taux de rampe de température jusqu'à 20 ° C/seconde, permettant des processus critiques dans le temps tels que la gravure à haut débit et l'orientation des substrats. Les vitesses de refroidissement extrêmement rapides permettent d'effectuer des dépôts multiples en succession rapide. L'utilisateur a également la possibilité de dépasser le taux de rampe pour des exigences de processus spécifiques. RECHERCHE LAM Flex Fx dispose d'une gamme de limiteurs de charge pour s'assurer qu'un échantillon est soumis à une distribution raisonnable et uniforme de la puissance, fournissant des résultats de gravure/cueillette uniformes et de haute qualité. Il est également équipé d'un système avancé de distribution de gaz dépendant du champ, qui est surveillé par un panneau LCD pour des performances fiables. Flex Fx est livré avec un logiciel complet, incluant une interface utilisateur intuitive et graphique. L'utilisateur peut programmer l'unité de contrôle pour effectuer des recettes personnalisées, tandis que les capacités d'automatisation permettent la commutation automatique entre les processus de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH Flex Fx est également compatible avec plusieurs systèmes de protocole réseau, assurant une intégration transparente avec d'autres équipements automatisés. En conclusion, Flex Fx est un graveur/asher avancé à plusieurs étages idéal pour produire des résultats de haute qualité sur des substrats flexibles. Ses fonctionnalités avancées permettent un contrôle précis des paramètres de gravure/cendres, tandis que ses capacités d'automatisation intégrées facilitent la commutation rapide des processus et le débit rapide.