Occasion LAM RESEARCH Gamma XPR #293676865 à vendre en France

LAM RESEARCH Gamma XPR est un équipement avancé de graveur et asher de plasma conçu pour des processus de microfabrication précis et efficaces dans la fabrication de semi-conducteurs et les paramètres de recherche. Cet outil sophistiqué offre un large éventail de capacités, y compris la gravure, le cendrage et la modification de surface de divers matériaux avec une grande précision et répétabilité. Le système Gamma XPR est équipé d'une technologie de pointe et de fonctionnalités innovantes pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs. RECHERCHE LAM Gamma XPR utilise une combinaison de la chimie du plasma et du gaz pour éliminer sélectivement le matériau des plaquettes semi-conductrices ou d'autres substrats avec un contrôle exceptionnel sur la profondeur de gravure, le profil et l'uniformité. L'unité est capable de graver divers matériaux, dont du silicium, du dioxyde de silicium, du nitrure de silicium, des films métalliques et d'autres matériaux semi-conducteurs avancés couramment utilisés dans la fabrication de circuits intégrés et de dispositifs microélectroniques. Le contrôle précis du processus de gravure est essentiel pour atteindre les spécifications du dispositif et les caractéristiques de performance souhaitées. Une des caractéristiques clés de la machine Gamma XPR est sa technologie avancée de source de plasma, qui génère un plasma très uniforme et stable pour des performances supérieures de gravure et de cendrage. La source de plasma de l'outil est conçue pour fournir des espèces réactives à haute densité à la surface du substrat, permettant une élimination rapide et efficace du matériau tout en minimisant les dommages au substrat sous-jacent. L'uniformité de la distribution du plasma sur la plaquette assure des résultats de gravure cohérents sur de grandes zones de substrat, permettant un rendement et des performances du dispositif élevés. En plus de ses capacités de gravure exceptionnelles, LAM RESEARCH Gamma XPR offre également une gamme de procédés d'ashing pour l'élimination de photorésist et d'autres matériaux organiques des plaquettes semi-conductrices. La chambre d'aspiration du modèle est spécialement conçue pour offrir un environnement contrôlé pour l'élimination des résidus organiques sans endommager les structures du dispositif sous-jacent. Cette capacité est essentielle pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés avec de multiples couches de matériaux et des géométries complexes des dispositifs. L'équipement Gamma XPR dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de contrôler facilement les processus de gravure et de cendres en fonction des exigences spécifiques des appareils. L'interface logicielle intuitive du système permet de surveiller en temps réel les paramètres du processus, tels que les débits de gaz, la pression, la puissance plasmatique et la température, afin d'assurer un contrôle optimal du processus et sa reproductibilité. L'unité offre également des capacités avancées de gestion des recettes de processus, permettant aux utilisateurs de stocker et de rappeler des recettes de processus pour différents matériaux et structures d'appareils. En outre, LAM RESEARCH Gamma XPR est conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs pour une faible production de particules, une productivité élevée et la fiabilité de l'équipement. L'outil est équipé de systèmes avancés de gestion des particules, tels que des technologies de nettoyage in situ et des caractéristiques de conception compatibles avec la salle blanche, afin de minimiser la contamination des particules et d'assurer un rendement élevé du dispositif. Les capacités de débit élevées de l'actif et les systèmes automatisés de manutention des plaquettes permettent un traitement efficace de grands lots de plaquettes, réduisant les coûts de fabrication globaux et augmentant la productivité. Dans l'ensemble, Gamma XPR est un modèle de graveur et asher plasma de pointe qui offre des performances supérieures, un contrôle de processus avancé et une grande fiabilité pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Avec sa technologie innovante et son interface conviviale, l'équipement LAM RESEARCH Gamma XPR est un outil idéal pour les fabricants de semi-conducteurs et les institutions de recherche qui cherchent à réaliser des processus de microfabrication précis et reproductibles pour les dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération.