Occasion LAM RESEARCH Gamma XPR #9365950 à vendre en France
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ID: 9365950
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Etcher, 12"
Does not include RF generator
2014 vintage.
LAM RESEARCH Gamma XPR est un graveur/asher conçu pour les procédés semi-conducteurs. Cet équipement performant et économique offre un large éventail de caractéristiques et d'avantages qui le rendent idéal pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs sur le marché de l'électronique grand public. Le système utilise une chimie de gravure brevetée propre à LAM pour graver avec précision des rapports d'aspect élevés, des tranchées profondes et des caractéristiques de haute résolution avec des profils de flanc précis. Gamma XPR obtient une couverture d'étape précise avec des gravures des profondeurs de tranchées aussi petites que 1 micron et des angles de flanc de moins de 15 degrés. L'unité est équipée d'une machine de manutention de plaquettes piézo-motorisée à trois axes qui offre à la fois une grande précision et un débit rapide. Cet outil de manutention intégré permet à LAM RESEARCH Gamma XPR de traiter simultanément trois plaquettes de 200 mm, soit jusqu'à six plaquettes de 100 mm. En outre, sa structure de mouvement unique protège contre la contamination potentielle des plaquettes, obtenant un rendement de produit très fiable. Gamma XPR est conçu avec des fonctionnalités avancées au niveau des actifs qui fournissent un contrôle de processus sans précédent dans les processus de cendrage, gravure et pulvérisation. Ses algorithmes logiciels avancés et ses diagnostics permettent une surveillance et un contrôle précis des processus, ce qui permet d'obtenir des performances cohérentes d'un cycle à l'autre. Le modèle utilise également la capacité d'alimentation en courant continu EasyPulse de LAM, ce qui lui permet d'adapter les paramètres de l'impulsion continue en inclinant la distribution de la profondeur de gravure pour obtenir des profils de gravure très précis. Cette fonctionnalité aide à réduire le besoin d'étapes de processus post-gravure supplémentaires, économiser du temps et finalement de l'argent. Le Gamma de RECHERCHE DE LAM le graveur de XPR / asher est aussi soutenu par les programmes de service de client complets de LAM, en offrant 24/7 le soutien technique et les programmes de soutien actifs pour garder votre équipement courant efficacement et de manière fiable. Ces programmes de service à la clientèle fournissent l'assurance que votre graveur/asher fonctionnera de façon fiable et avec des performances maximales.
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