Occasion LAM RESEARCH IGS #9157989 à vendre en France

LAM RESEARCH IGS (Ionized Gas Source) est un outil spécialisé de gravure/décapage utilisé dans le processus de fabrication des plaquettes. Il est utilisé pour graver et décaper plusieurs films de la surface de la plaquette. Cet etcher/asher est un outil de plasma haute densité (HDP), et fonctionne d'une manière unique par rapport à d'autres équipements. Le procédé utilise à la fois des technologies à plasma et en phase vapeur pour obtenir une gravure ultra basse pression et ultra haute précision. IGS se compose de deux chambres principales, la chambre principale de réaction et la chambre de réaction en phase vapeur. La chambre de réaction principale, cœur du système, contient un gaz de procédé qui est introduit dans la chambre sous haute pression. Cette pression est dirigée vers le fond du substrat, permettant aux ions de réagir avec la résistance à la gravure et le matériau sous-jacent et de former un résidu pulvérisé. Une fois cette réaction terminée, la partie supérieure de l'enceinte est ensuite purgée avec un gaz porteur inerte pour éliminer tout produit de gravure volatil. La chambre de réaction en phase vapeur est utilisée pour le dénudage des films. Dans cette chambre, un gaz de procédé est introduit à température élevée, ce qui provoque la vaporisation de la résine et son évacuation de la surface du substrat. Un système avancé de contrôle de la température et du débit de gaz est utilisé pour optimiser le processus d'élimination de certains types de films. LAM RESEARCH IGS est capable d'obtenir des taux de gravure extrêmement élevés, une faible sélectivité de gravure ionique, une grande uniformité de gravure et une grande stabilité du procédé. De plus, la vitesse de gravure peut être contrôlée à un degré très précis, afin que l'imagerie et la lithographie soient exactes. Grâce à ses fonctionnalités avancées, comme l'épurateur intégré, IGS combine également un débit élevé avec d'excellentes normes de sécurité. En conclusion, LAM RESEARCH IGS est un outil polyvalent de gravure/décapage qui fonctionne avec une grande précision et une grande efficacité. Grâce à ses fonctions avancées de contrôle des processus, ce graveur/asher est bien adapté aux besoins exigeants du processus de fabrication des plaquettes.