Occasion LAM RESEARCH IGS #9157990 à vendre en France

LAM RESEARCH IGS (Inductively-Coupled Plasma Reactive Ion Etcher/Asher) est un équipement de gravure avancé conçu pour des applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est basé sur la technologie exclusive LAM Pulsed Plasma Reactive Ion Gravching (PPP-RIE), qui permet des processus de gravure rapides et de haute précision sans avoir besoin de matières dangereuses supplémentaires. IGS etcher/asher dispose d'une chambre complètement fermée, et permet à l'utilisateur de profiter d'une large gamme de processus de gravure tout en obtenant une vitesse précise, profondeur et contrôle latéral. LAM RESEARCH Le système IGS utilise une plate-forme de puissance robuste pour générer une chambre de réaction à plasma inductif sans électrodent (ICP). Ce générateur haute tension dispose d'une électromagnétique active et de niveaux de tension et de courant réglables pour un contrôle précis de la couche de plasma. Il génère une couche de plasma à basse température et haute densité qui permet des temps de gravure plus rapides que ceux réalisables avec les procédés de gravure classiques. L'unité IGS comprend un certain nombre de sources de gaz distinctes qui sont reliées au châssis de distribution de gaz. Ces gaz sont ensuite mélangés puis introduits dans la chambre, ce qui permet de multiples gravures simultanément. Une caractéristique supplémentaire de LAM RESEARCH IGS est l'outil d'optimisation intégré, qui permet l'optimisation des processus en temps réel. L'actif d'optimisation utilise une variété de capteurs situés dans la chambre de gravure et le matériel de traitement, ainsi que des logiciels spécialisés pour surveiller continuellement le processus de gravure. Ce modèle étroitement intégré permet de s'assurer que les opérations de gravure et de cueillette se déroulent comme prévu, et permet à l'utilisateur de faire des ajustements correctifs à la demande. L'IGS etcher/asher multifonctionnel est bien adapté à un large éventail d'applications, telles que MEMS, capteurs MEMS, nanotechnologie, micro-fabrication, dispositifs biomédicaux, opto-électronique, microsystèmes électromécaniques (MEMS), micro-circuits et autres applications spécialisées. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, il est le premier équipement de gravure pour l'industrie des semi-conducteurs.