Occasion LAM RESEARCH IGS #9157991 à vendre en France

LAM RESEARCH IGS est un type de graveur et asher utilisé pour fabriquer des circuits intégrés à micro et nanométrique. Il s'agit d'un graveur multifonctionnel conçu pour graver, nettoyer, pulvériser, déposer et asher des plaquettes dans un seul outil. IGS possède des caractéristiques avancées telles que la haute précision et l'uniformité des gravures, les faibles niveaux de particules et la surveillance du cycle optique. LAM RESEARCH IGS fonctionne dans une chambre à vide qui permet à l'graveur de contrôler l'extrémité du cycle de gravure et d'améliorer l'uniformité. IGS etcher est capable de fournir jusqu'à 5.000 sccm de débit de gaz de gravure. Une source de pulvérisation de l'ICP est utilisée pour déposer des couches minces de métal sur la surface de la plaquette, créant ainsi une structure d'interconnexion. La source de pulvérisation permet des dépôts sur une variété de matériaux tels que l'aluminium, le titane, le cuivre et l'or. LAM RESEARCH IGS est équipé d'une seule chambre de cale de wafer, qui est utilisée pour enlever la résine photosensible après gravure. La plaquette est chargée sur la chambre de cueillette, puis est exposée à une cueillette de plasma à haute température. Ce procédé élimine la résine photosensible, permettant une gravure de haute précision. IGS est conçu pour fournir un contrôle précis des processus de gravure et d'ashing. Le logiciel etcher dispose d'un éditeur de recettes, qui permet à l'utilisateur de spécifier les paramètres de gravure, tels que le mélange de gaz, la pression, la température, et d'autres paramètres de processus. Un système de suivi des processus en temps réel est intégré pour mesurer les paramètres des processus de gravure et d'ashing qui permettent l'optimisation des processus. LAM RESEARCH IGS dispose de multiples fonctions de sécurité et de contrôleurs pour garantir l'exactitude et la sécurité des processus. Ces fonctionnalités fournissent un mode de protection des processus, un bouton d'arrêt d'urgence et des alarmes d'erreur qui empêchent tout dommage au système et à la plaquette. IGS est compact et intégré avec un petit imprimé pied, ce qui le rend facile à installer et à utiliser dans n'importe quel environnement de laboratoire. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH IGS est un graveur avancé avec des caractéristiques qui permettent de graver et d'aspirer avec précision, de réduire les particules et d'obtenir un débit élevé. IGS est équipé de nombreuses caractéristiques de sécurité et d'instrumentation qui garantissent l'intégrité des plaquettes et la précision des processus. C'est un outil idéal pour fabriquer des circuits intégrés micro et nanométriques.