Occasion LAM RESEARCH Inova #293610305 à vendre en France

LAM RESEARCH Inova
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
Inova
ID: 293610305
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
System, 12" Process: Metal 2005 vintage.
LAM RESEARCH Inova est un graveur/asher très avancé utilisé pour les processus critiques de gravure et de séchage. Cet équipement est idéal pour le traitement avancé des plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa conception intégrée est capable de fournir des performances supérieures avec un haut débit et un contrôle de qualité supérieur. Inova dispose d'un puissant système de contrôle d'alimentation IGI et d'éléments de chauffage et de refroidissement robustes pour fournir un contrôle précis de la température et de la puissance. L'unité est capable de contrôler des paramètres de processus tels que la pression, le temps de réaction et la température pour assurer des vitesses de gravure uniformes et une cohérence de processus supérieure. La conception intégrée comprend également un régulateur de débit massique très précis pour mesurer avec précision les gaz précurseurs critiques utilisés dans le processus de gravure, fournissant une précision qui conduit à un meilleur rendement du processus. En plus de ses capacités avancées de contrôle du gaz, LAM RESEARCH Inova offre également un choix de matériaux avancé et un contrôle de la propreté. Son module de propreté avancée des gaz fournit des gaz de procédé sans particules, assurant un environnement de gravure intact et une gravure fiable des substrats avancés. La machine offre également la possibilité de sélectionner des substrats parmi un large éventail de matériaux, permettant à l'utilisateur de personnaliser le processus pour différentes applications de l'appareil. Inova est supporté par de nombreux logiciels conçus pour fournir une intelligence de processus, permettre l'enregistrement des données et faciliter la configuration et la révision des recettes. Son interface intuitive homme-machine (HMI) est conçue pour une utilisation facile et permet aux utilisateurs de se tenir au courant de toutes les activités de l'outil. RECHERCHE LAM Inova offre également un atout de contrôle automatisé des processus (APC), fournissant un suivi en temps réel des processus, un contrôle serré des processus et des informations précieuses pour l'optimisation des processus. En plus d'avoir une conception intégrée à haut rendement, Inova est également extrêmement efficace en matière de consommation d'énergie. L'efficacité du modèle est encore améliorée grâce à sa conception polyvalente des gaz d'échappement qui permet aux utilisateurs de personnaliser leur empreinte environnementale pour répondre à leurs besoins. LAM RESEARCH Inova est également conçu pour être compatible avec la maintenance, réduire les temps d'arrêt et améliorer la fiabilité. En plus de ses capacités impressionnantes, Inova est également extrêmement abordable. Sa conception robuste et ses caractéristiques avancées en font une solution rentable pour tout processus de gravure et de cueillette de semi-conducteurs. Avec sa conception intégrée, son contrôle avancé des procédés et sa rentabilité, LAM RESEARCH Inova est un choix idéal pour les procédés de gravure et d'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs.
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