Occasion LAM RESEARCH Inova #293610306 à vendre en France

LAM RESEARCH Inova est un système modulaire de gravure/cueillette conçu pour des processus de gravure et de cueillette spécifiques. C'est une plate-forme ultra-stable qui peut dépasser tous les processus de gravure standard et offre une précision optimisée. Inova offre une profondeur de gravure optimale, une résolution améliorée et une contamination minimisée, offrant des performances fiables et durables. RECHERCHE LAM Inova est équipé de deux sources de gaz haute performance de 200 sccm (He, Ar, N2 et O2), de deux chambres de réaction à quartz et de deux porte-échantillons automatisés qui permettent une flexibilité totale avec le placement de l'échantillon. Il dispose également d'une capacité fiable de nettoyage des sources, avec un bain d'eau à haut débit intégré qui aide à réduire le besoin en solvants chimiques. Inova dispose d'un contrôleur de prédiction de gravure innovant et d'un logiciel, qui offre une précision et une flexibilité accrues dans le contrôle de gravure. Le contrôleur de prédiction de gravure surveille en permanence la vitesse de gravure et ajuste les paramètres du processus pour plus de précision. Cela permet des rendements plus élevés et réduit les déchets et les dommages au substrat. Les modules standard LAM RESEARCH Inova disposent également d'un système multi-déclencheurs, qui permet d'activer jusqu'à cinq processus de gravure indépendants en un seul cycle. Ceci le rend idéal pour des applications de gravure/cueillette complexes nécessitant un débit élevé. La fonction optionnelle Collimated Ion Beam Assist (CIBA) permet un contrôle supérieur du flux d'ions pour les processus d'analyse d'échantillons (SAP) critiques dans le temps. En plus de sa technologie de gravure avancée, Inova offre une gamme complète de caractéristiques de sécurité. Il s'agit notamment d'une armoire acoustique, d'un piège à ions, d'une chambre à ions et de brides d'admission et d'échappement multiples, qui aident à maintenir le système propre et sûr pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Inova offre des performances inégalées en gravure et en cendre. Avec son contrôleur de prédiction de gravure avancé et sa gamme complète de fonctions de sécurité, Inova permet aux utilisateurs de créer des solutions de gravure/ashing uniques pour répondre à leurs besoins spécifiques.