Occasion LAM RESEARCH Inova #293610307 à vendre en France

LAM RESEARCH Inova est un graveur/asher avancé, développé par LAM RESEARCH Corporation. Ce graveur/asher de pointe est conçu pour fournir un débit, une précision et une fiabilité élevés. Les capacités avancées d'Inova comprennent la gravure de substrat basse tension pour produire des profils de gravure à faible budget thermique, une gravure à plasma haute densité (HDP) pour obtenir une sélectivité de gravure supérieure, et une gravure totale de couverture de surface de plaquette pour assurer une modification de surface de précision. RECHERCHE LAM Inova est conçu avec souplesse, permettant de définir une large gamme de paramètres de gravure pour diverses applications. Cela inclut la capacité d'ajuster les rapports de mélange de gaz, et d'ajuster la pression, la puissance et la température afin d'atteindre les performances de gravure souhaitées. En outre, les paquets de contrôle logiciel avancés d'Inova permettent à l'utilisateur de personnaliser et d'optimiser le processus de gravure, ainsi que de surveiller et d'analyser les résultats de gravure en temps réel. LAM RESEARCH Inova prend en charge le traitement par lots et par tranche, et est capable de traitement par tranche de 330mm. La chambre de gravure est refroidie à l'azote liquide pour assurer un processus de gravure uniforme et un refroidissement supérieur pour des profils uniformes. Il dispose également d'une chambre de gravure sous pression avec un système de contrôle de pression automatique, conçu pour maintenir un environnement de gravure stable. En outre, Inova est équipé d'un système de diagnostic à distance avancé, fournissant un soutien à distance amélioré. RECHERCHE LAM Inova offre d'excellentes performances dans des applications de gravure telles que le décapage d'oxyde, la gravure photorésist et la gravure par masque dur. En outre, il est conçu pour graver une grande variété de matériaux, ainsi que pour accueillir différentes piles de films. Cela fait d'Inova un choix idéal pour une grande variété d'applications de gravure dans les industries des semi-conducteurs, MEMS et MEMC. En résumé, LAM RESEARCH Inova est une gravure/asher avancée, conçue pour des performances de gravure rapides, précises et fiables. Cet outil de gravure sophistiqué est entièrement fermé, fournit un environnement de gravure contrôlé, et est équipé d'un logiciel de contrôle avancé pour des performances personnalisées. En outre, il supporte le traitement par lots et monobloc, et est capable de traitement des plaquettes 330mm, ce qui en fait un excellent choix pour les applications de gravure dans une variété d'industries.