Occasion LAM RESEARCH Inova #293610308 à vendre en France
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ID: 293610308
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
System, 12"
Process: Metal
2006 vintage.
LAM RESEARCH Inova est un équipement avancé de gravure et de cendrage avec un contrôle de haut débit et de précision des processus. C'est l'équipement le plus récent sur le marché et il fournit le plus haut degré de précision et de fiabilité lors de la réalisation des processus de gravure et de cueillette. Le système Inova est conçu pour gérer un large éventail de tâches de gravure et de processus de cendres. Il est conçu avec un mécanisme de gravure/cendrage ultra-haute vitesse avancé, ce qui le rend capable de délivrer des largeurs de gravure de qualité et des caractéristiques de cendres arbitraires à des longueurs et des résolutions plus élevées que n'importe quelle autre unité de graveur/cendrier disponible dans le commerce. Cette fonctionnalité confère à LAM RESEARCH Inova un haut niveau de contrôle et de répétabilité des processus, et elle est bien adaptée aux applications de fabrication de semi-conducteurs. La machine offre différentes options de processus, y compris Etchback, Etch mécanisé, et Ion Etch réactif (RIE). Il est également doté de capacités avancées de gravure chimique améliorée par plasma (PECE), ce qui permet une plus grande souplesse dans les conditions de processus et un ajustement dans le temps (même lorsque la chambre est sous vide). Inova dispose également d'une large gamme de fonctionnalités personnalisables telles que les technologies de contrôle de processus adaptatif (APC), de contrôle de profil avancé (APC) et de contrôle de profil adaptatif (APC). Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de modifier leur séquence de processus à la volée et d'ajuster leurs paramètres de processus à leurs besoins. De plus, LAM RESEARCH Inova dispose d'un outil de chargement automatique de recettes, qui permet aux utilisateurs de passer facilement d'un processus à un autre en chargeant une recette fournie par l'utilisateur dans le contrôleur. Cela améliore le débit et réduit le besoin d'intervention de l'opérateur. Inova possède également une vaste bibliothèque de recettes de gravures, y compris des solutions sur mesure, ainsi que ses propres recettes internes pour permettre à ses utilisateurs d'atteindre facilement les conditions de gravure et d'ashing souhaitées. De plus, avec son interface intuitive et facile à utiliser et son interface graphique conviviale, LAM RESEARCH Inova offre une façon simple et simple de contrôler le processus, même avec une expérience limitée de l'opérateur. Inova est un outil puissant pour la gravure et l'ashing, fournissant le plus haut niveau de contrôle de processus et de flexibilité pour l'utilisateur. Avec sa conception robuste et fiable, LAM RESEARCH Inova est une solution idéale pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs.
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