Occasion LAM RESEARCH Inova #9315044 à vendre en France

RECHERCHE LAM Inova etcher/asher est un équipement de graveur/asher évolutif et multidimensionnable utilisé pour planer et graver une grande variété de substrats tels que le silicium, le verre et les films métalliques. Le système est équipé d'une automatisation de pointe, d'un contrôle informatique de tous les paramètres essentiels et de fonctionnalités conviviales pour assurer un fonctionnement efficace et indépendant. Inova est conçu pour réaliser des procédés tels que la pulvérisation par faisceau d'ions (IBS), la gravure ionique réactive (RIE), la gravure au silicium profond (DSE), le traitement thermique (TP) et d'autres opérations de gravure. Avec sa chambre multifonctionnelle, l'unité peut également fournir une variété de profils de gravure, si nécessaire, ainsi que d'excellentes uniformité et précision de plaquette à plaquette. De plus, la machine est conçue pour permettre de multiples configurations de substrat pour une gravure précise et rapide, fournissant ainsi des résultats très cohérents quelle que soit la configuration particulière requise. RECHERCHE LAM Le logiciel de pointe d'Inova permet à l'utilisateur de contrôler chaque processus individuellement, améliorant ainsi la stabilité des paramètres critiques. L'outil offre également des chambres à température contrôlée avancée, un contrôle optique précis, et un support intégré et des moyens de maintenance pour garantir une performance optimale. Les chambres Inova sont conçues et scellées sous vide pour une répétabilité et une stabilité optimales du procédé. L'etcher/asher comprend également des capacités de visualisation et d'acquisition de données en temps réel, permettant aux utilisateurs de prendre de meilleures décisions en matière de processus et d'équipement. Son modèle de pointage optique intégré permet à l'utilisateur de surveiller la profondeur, les angles et les dimensions critiques pour un pointage précis. RECHERCHE LAM L'écran programmable d'Inova, qui dispose d'une interface utilisateur intuitive, augmente le contrôle et la flexibilité de l'utilisateur sur les processus de gravure, fournissant une configuration rapide, des analyses d'images vidéo, et des fonctionnalités avancées de gestion des données et de sécurité. L'équipement dispose également d'une capacité multi-outils intégrée, permettant à l'utilisateur de choisir le meilleur taux de gravure, la puissance, la température et le refroidissement en fonction des conditions de processus individuels et des configurations de substrat. Les traits de sécurité d'Inova incluent le pistage de 24/7 d'activités de processus, la surveillance d'alarme de sécurité en temps réel et la protection de renvoi électrostatique, pour garantir la sécurité de personnel pendant l'opération. En conclusion, LAM RESEARCH Inova etcher/asher propose un système de gravure et de planarisation perfectionné et multi-configurable d'une grande variété de substrats. Il offre un contrôle des processus, une répétabilité, des fonctionnalités de sécurité et des capacités de visualisation et d'acquisition de données en temps réel, permettant à l'utilisateur d'obtenir une performance, une précision et une cohérence optimales.