Occasion LAM RESEARCH Isotropic chambers for 4520i #9352909 à vendre en France

LAM RESEARCH 4520i Les chambres isotropes sont conçues pour diverses applications de gravure et d'ashing. Cet équipement offre une fiabilité, une flexibilité et des performances inégalées dans les processus de cendrage et de gravure des oxydes organiques. Avec ses systèmes de contrôle avancés, le 4520i offre une répétabilité de processus cohérente, une excellente uniformité et des uniformités de gravure extrêmement efficaces par rapport aux anciens systèmes. En tant que système de gravure complet, la chambre offre également une excellente fonctionnalité de flanc, ainsi qu'un débit supérieur. La chambre 4520i est construite avec une configuration semi-automatisée qui apporte toutes les fonctionnalités les plus essentielles aux utilisateurs. La chambre est environ deux fois la taille d'un banc mouillé standard de 200mm et est dotée d'une gamme complète de caractéristiques innovantes, y compris le pompage de fréquence programmable et des supports universels de glissière. En outre, la conception de la chambre de procédé utilise une unité de vide Eurojet étanche pour fournir jusqu'à 5 microns de pression de base nécessaire pour certains processus de gravure. Les systèmes de commande avancés du 4520i permettent un contrôle précis sur l'ensemble du processus. Les interfaces utilisateur sont conçues pour un fonctionnement intuitif afin de faciliter la configuration et les modifications de paramètres. La machine est également équipée d'une bibliothèque de recettes intégrée comprenant plus de 130 recettes ; tout cela peut être modifié en fonction des paramètres spécifiques du processus. De plus, le 4520i permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres en temps réel pendant le processus de gravure ou de cueillette afin d'assurer la stabilité et l'uniformité du processus. Le 4520i est conçu pour maximiser le débit avec sa conception de chambre avancée. Le processus de gravure ou de cueillette nécessite une faible charge de procédé, permettant plus d'espace pour les plaquettes au bord de la chambre. La chambre offre également une meilleure homogénéité entre les plaquettes et un meilleur débit grâce à sa conception ouverte. Grâce à ses fonctionnalités intégrées, l'outil peut être configuré pour des temps de processus allant jusqu'à 15 minutes et aussi bas que 3 minutes. Cela le rend adapté à un large éventail d'applications, y compris les essais à faible coût et les lots de production. La conception semi-automatisée des chambres isotropes 4520i en fait un excellent choix pour les processus de gravure ou d'ashing qui nécessitent des performances de processus fiables, reproductibles et précises. Grâce à ses systèmes de contrôle avancés, il assure une uniformité constante des taux de gravure et un débit exceptionnel. En outre, cet atout offre une grande flexibilité et peut être facilement personnalisé en fonction des exigences de processus spécifiques.