Occasion LAM RESEARCH Kiyo EX #293630220 à vendre en France

LAM RESEARCH Kiyo EX est un outil avancé de graveur/asher conçu pour fournir un haut débit, un faible entretien et un traitement des matériaux rentable. Son architecture unique à double chambre permet à l'outil de fournir une gravure et un processus asher à faible coût par lot. L'architecture à double chambre permet un traitement indépendant du gaz permettant une gravure simultanée et des fonctions asher ou une manipulation indépendante des plaquettes. La puissante électronique de pulsation de niveau source et le logiciel de contrôle de processus permettent un contrôle précis des paramètres de gravure et d'asher avec des marges de processus serrées. Kiyo EX offre un débit élevé, une uniformité et une répétabilité sans égal. Son débit élevé de 3-4 plaquettes/min et sa taille de plaquettes transformables jusqu'à 300 mm sont inégalés dans l'industrie. L'architecture à double chambre permet de s'associer à d'autres outils en amont ou en aval pour la manutention des plaquettes et des processus très complexes. L'électronique pulsante de niveau source permet un contrôle précis du processus, avec traçabilité de la recette et des simulations de processus précises. Le contrôleur est alimenté par un équipement d'exploitation Windows CE, avec une interface graphique dédiée qui permet de contrôler une grande variété de paramètres, y compris le type de gaz, la pression de la chambre, la vitesse de la plaquette, la température de la plaquette et d'autres variables de processus. LAM RESEARCH Kiyo EX dispose également de caractéristiques avancées de sécurité et de protection de l'environnement telles qu'un système de purge active pour assurer une sécurité de processus élevée. Ses systèmes de surveillance et de contrôle avancés sont dotés d'une unité d'autodiagnostic qui vérifie la conformité de la machine et d'un interrupteur d'interception de sécurité pour la manutention du gaz. La capacité de chasse d'eau active combinée à l'outil de contrôle du débit d'échappement à bas niveau contribue à maintenir un environnement sûr pour les processus sensibles tels que le LEF et la passivation. Globalement Kiyo EX offre d'excellentes capacités pour permettre des processus de gravure et d'asher à haut débit rentables. Son architecture à double chambre, son contrôle avancé des processus et ses caractéristiques de sécurité en font un choix idéal pour les applications de gravure et de cendrier. Avec son large éventail d'applications, il est un outil idéal pour pratiquement toutes les exigences de traitement de matériaux industriels ou de recherche.