Occasion LAM RESEARCH Kiyo EX #293824451 à vendre en France

LAM RESEARCH Kiyo EX est un graveur haute performance de nouvelle génération conçu pour des applications avancées de fabrication de dispositifs. Il a la capacité de graver essentiellement tous les types de matériaux tels que le silicium, le verre et le métal jusqu'à 1 micron de taille. L'équipement dispose d'une source de plasma multi-zones ultramoderne et d'une chambre de gravure sans kerfless contrôlée sous pression (PCKE) pour le contrôle précis de la gravure et la répétabilité des processus. Ce graveur de nouvelle génération exploite une source de plasma auto-optimisante pour minimiser les non-uniformités dans les performances de fixation des plaquettes et obtenir un débit plus rapide. Le système utilise une nouvelle source de plasma inductif à haute densité ainsi qu'un champ magnétique optimisé pour contrôler le processus de gravure. L'unité est équipée de capacités spatiales permettant d'accueillir des sources de rayonnement à double ou double longueur d'onde avec une variété de configurations de champ magnétique, offrant une flexibilité dans les performances de gravure et la conformation des couches DRAM haute densité. Sa machine automatisée améliorée de détection in situ permet d'assurer une gravure précise et répétable des topographies sur pratiquement n'importe quel substrat. Certaines des autres caractéristiques de Kiyo EX comprennent une nouvelle chambre de gravure à flux décalé (SFEC) pour améliorer l'uniformité des gravures, et un contrôle de processus de table de recherche (LUT) pour une répétabilité rapide et précise des processus. En outre, l'outil peut être configuré avec un certain nombre de processus différents tels que le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), le dépôt par couche atomique (ALD) et la pulvérisation pulvérulente, assurant une compatibilité totale avec diverses applications. Les chambres de gravure de l'actif sont construites avec de l'acier inoxydable à haute température, et les unités d'alimentation en courant continu impulsionnel sont conçues pour réduire la distorsion harmonique et maximiser le rendement énergétique. LAM RESEARCH Kiyo EX est la solution idéale pour une large gamme de procédés avancés de fabrication d'appareils. Avec ses performances efficaces et fiables, Kiyo EX facilitateurs des rendements les plus élevés et le coût total de propriété le plus bas (TCO). Conçu pour offrir des performances inégalées, LAM RESEARCH Kiyo EX est une solution de gravure fiable pour les fabricants d'appareils avancés.