Occasion LAM RESEARCH Kiyo EX #9270879 à vendre en France

LAM RESEARCH Kiyo EX est un graveur/asher qui est adapté à l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil performant, capable d'obtenir d'excellents résultats lors de la gravure et de la cueillette de différents matériaux tels que le silicium, l'arsenide de gallium et le silicium sur plaquettes isolantes (SoI). Il est livré avec un contrôleur puissant et convivial offrant une flexibilité totale dans le contrôle des processus de gravure et de cendres. Les paramètres du processus sont réglables, offrant un degré élevé de précision et de précision. Il est également idéal pour la fabrication d'appareils low-k et III-V. Kiyo EX est composé de plusieurs sous-systèmes tels que la puissante source de plasma, chambre de gravure et table de cartographie des plaquettes. La source de plasma fournit un apport fiable, uniforme et efficace d'ions métalliques et est responsable d'une gravure uniforme sur la surface de la plaquette. La chambre de gravure se compose de plusieurs composants comme la tête de douche, les pompes de circulation, et le transport de rejet. Cette chambre de gravure est conçue pour fournir une gravure de profondeur et de couche uniforme. La table de cartographie des plaquettes est utilisée pour positionner et aligner la plaquette à graver. Ceci assure la précision et la répétabilité du processus de gravure. RECHERCHE LAM Kiyo EX offre une grande variété de chimie des gravures telles que les chimies à base de HF, de Cl2-based et de HBr, ainsi qu'une variété de gaz de fond pour faciliter une gravure uniforme. Il est également équipé de plusieurs générateurs de plasma qui peuvent déposer des ions et de l'énergie précisément sur la surface de la plaquette. Kiyo EX dispose d'une gamme d'accessoires et de modules complémentaires qui en font l'outil parfait pour les opérations de gravure et de cueillette avancées. C'est un outil très polyvalent, capable de traiter des substrats de 2 "à 200mm de diamètre. RECHERCHE LAM Kiyo EX dispose également de plusieurs dispositifs de sécurité tels que des emboîtements et des détecteurs de gaz qui protègent l'outil de tout dommage potentiel. Il est parfait pour les opérations de gravure par lots et d'ashing dans une variété d'industries pour les applications de gravure et d'ashing standard de l'industrie. Avec sa polyvalence et sa précision, Kiyo EX est l'outil parfait pour tout processus de gravure et d'ashing.