Occasion LAM RESEARCH Kiyo EXP #293642656 à vendre en France
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LAM RESEARCH Kiyo EXP est une gravure/asher qui utilise la technologie plasma haute densité pour fournir des performances supérieures de gravure de plasma dans les environnements de production. Le dispositif utilise quatre sources RF avec une large gamme de gravures plasma, permettant une gravure précise et flexible d'une variété de matériaux, y compris Si, SiO2, SiN, SiON, GaN, UV et autres. Le dispositif a également la capacité de nettoyage et de dépôt de plasma de précision, ce qui le rend idéal pour de nombreuses applications de production et de R&D. Le processus de gravure plasma de Kiyo EXP est rapide et précis, avec un excellent contrôle de la vitesse de gravure des matériaux et de la topographie des fonctionnalités. Cette gravure de haute précision permet un contrôle précis de la profondeur des microns profonds. En outre, LAM RESEARCH Kiyo EXP est équipé d'un équipement de pointe pour une répartition uniforme des gaz de gravure sur toute la surface de la plaquette, offrant une vitesse de gravure uniforme et un angle de paroi latérale. L'automatisation avancée de Kiyo EXP garantit que la bonne combinaison des processus, des matériaux et des paramètres sont utilisés pour la gravure ou les étapes propres. Différents programmes, recettes et paramètres prédéfinis peuvent être stockés pour chaque procédure, qui peut être rappelé et utilisé au besoin. Le dispositif est également capable de fonctionnalités supplémentaires telles que les entrées/sorties numériques, l'auto-réglage et la réorientation des plaquettes. Le système automatique d'autodiagnostic sur LAM RESEARCH Kiyo EXP vérifie en permanence l'état de santé et de fonctionnement de l'unité, permettant une optimisation des processus en temps réel. La machine permet également aux utilisateurs d'accéder aux données à distance via un réseau Ethernet sécurisé via le serveur de protocole Ethernet. Dans l'ensemble, Kiyo EXP est une plate-forme de gravure/cendrage fiable et efficace idéale pour les applications de production et de recherche. Avec ses capacités de gravure de haute précision, sa flexibilité, son accès sécurisé aux données à distance et sa surveillance automatisée de la santé, LAM RESEARCH Kiyo EXP est l'un des premiers systèmes de gravure plasma/cendres sur le marché.
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