Occasion LAM RESEARCH KIYO FX #293729509 à vendre en France

LAM RESEARCH KIYO FX
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
KIYO FX
ID: 293729509
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2020
System, 12" EFEM 2020 vintage.
LAM RESEARCH KIYO FX est un graveur/asher de pointe qui offre des capacités avancées pour le traitement des semi-conducteurs, spécialement conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement fait partie de la série de produits LAM RESEARCH Kiyo, connus pour leur grande précision, leur fiabilité et leurs technologies innovantes. KIYO FX est un outil polyvalent qui combine les processus de gravure et d'ashing dans une plate-forme unique, fournissant aux fabricants de semi-conducteurs une solution rentable et efficace pour les étapes de fabrication des dispositifs critiques. Sa conception et son ingénierie avancées permettent un contrôle précis des paramètres du processus, ce qui entraîne une homogénéité supérieure des processus, des taux de gravure et une sélectivité. L'une des caractéristiques clés de LAM RESEARCH KIYO FX est sa fonctionnalité bi-mode, qui permet aux utilisateurs de passer d'un processus de gravure à un autre. Cette flexibilité permet au système de prendre en charge un large éventail d'applications, allant de la gravure profonde de silicium pour les dispositifs MEMS au décapage critique de photorésist pour les dispositifs logiques et mémoires avancés. L'unité est équipée d'une source de plasma haute performance qui génère un environnement plasma très réactif, essentiel pour obtenir des résultats de gravure et de cueillette rapides et uniformes. La source de plasma est capable de fonctionner à différents niveaux de puissance et débits de gaz, permettant un réglage précis des conditions de procédé pour répondre à des exigences de fabrication spécifiques. En plus de sa puissante source de plasma, KIYO FX dispose d'une machine sophistiquée de manutention des plaquettes qui assure un positionnement et un alignement précis des plaquettes tout au long du processus. Cet outil offre un excellent contrôle et reproductibilité des processus, minimisant la variabilité entre les plaquettes et assurant un rendement élevé. LAM RESEARCH KIYO FX est également équipé de capacités avancées de contrôle des processus, y compris la détection en temps réel du point de fin, la surveillance in situ des paramètres des processus, et des fonctionnalités avancées de gestion des recettes. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs d'optimiser les performances des processus, de maximiser le temps de disponibilité des outils et d'assurer des résultats cohérents et reproductibles. De plus, l'actif est conçu avec des dispositifs de sécurité de pointe de l'industrie, y compris des systèmes automatisés de distribution de gaz, des systèmes d'interception et des mécanismes d'arrêt d'urgence, afin d'assurer le plus haut niveau de sécurité de l'opérateur pendant l'exploitation. En outre, KIYO FX est entièrement compatible avec les normes et les lignes directrices de l'industrie pour la protection de l'environnement et la sécurité. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH KIYO FX est un modèle de graveur/asher à la pointe de la technologie qui offre aux fabricants de semi-conducteurs une solution fiable et performante pour les procédés avancés de fabrication d'appareils. Grâce à ses technologies avancées, à son contrôle précis des procédés et à ses capacités polyvalentes, KIYO FX est bien adapté à un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs, ce qui en fait un outil essentiel pour la réalisation de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et à haut rendement.
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