Occasion LAM RESEARCH KIYO FX #293791061 à vendre en France

LAM RESEARCH KIYO FX est une solution puissante de graveur/cendrier basée sur la technologie de pointe de gravure/cendres du groupe Plasma Etch. KIYO FX est conçu pour obtenir des résultats élevés, propres et uniformes dans les étapes de gravure et de traitement des cendres. Il s'agit d'une solution idéale pour un large éventail d'applications de gravure et de cendrage, y compris la gravure de matériaux de substrat de plaquettes semi-conductrices, la gravure de dispositifs MEMS/NEMS/MOEMS, la nanolithographie et la photolithographie, le marquage de masques et d'autres matériaux photomasques, et plus encore. LAM RESEARCH KIYO FX dispose d'une technique innovante de gravure ionique réactive à basse pression (RIE) qui produit des surfaces de haute qualité et des profils de gravure uniformes. L'équipement utilise à la fois la gravure en mode actif et en mode pulsé, ce qui peut produire des motifs et des caractéristiques à l'échelle des sous-microns. KIYO FX comprend également une variété d'outils de procédé tels que les plasmas hyperfréquences, les plasmas à couplage inductif basse pression (ICP) et la gravure par ions réactifs profonds (DRIE). Il est capable de performances de gravure de moyenne à haute vitesse, avec un niveau élevé de précision dans le contrôle de la variabilité des paramètres critiques tels que la taille des caractéristiques et l'uniformité des gravures. LAM RESEARCH KIYO FX est conçu avec une grande variété de fonctionnalités favorisant les processus, y compris les capacités d'automatisation, la régulation de la température, la surveillance des applications et l'enregistrement programmable des données. Nos gaz de procédé innovants, y compris le chlore, l'oxygène et l'argon, garantissent des performances de gravure supérieures. Le système dispose également d'une unité de vision haute résolution qui aide à optimiser la qualité du processus, ainsi que d'une machine d'enregistrement de données qui enregistre les paramètres critiques du processus tels que la pression, le débit, la température et d'autres paramètres pertinents. KIYO FX offre des performances de gravure à haut débit, basse pression et cendres adaptées à une large gamme de matériaux. Sa plate-forme robuste et fiable est capable de fonctionner avec de multiples matériaux, des films diélectriques aux métaux, et même des combinaisons de matériaux difficiles, ce qui en fait la solution de gravure idéale pour la fabrication avancée et la fabrication de dispositifs.