Occasion LAM RESEARCH KIYO FX #293819375 à vendre en France
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LAM RESEARCH KIYO FX est une solution de graveur/asher haute capacité développée pour répondre aux exigences de fabrication de semi-conducteurs dans le monde entier. Cet équipement de gravure et de cendrage a été conçu pour fournir des performances de pointe pour une grande variété de procédés de gravure et de gravure/cendrage utilisés dans toute l'industrie des semi-conducteurs. KIYO FX offre une gravure/cendrage à faible contrainte de plusieurs couches de différents matériaux numériques, permettant d'améliorer le rendement et la qualité. Le système utilise un contrôleur numérique pour maintenir l'uniformité dans le processus de gravure/ashing au fil du temps et assurer la cohérence d'un lot à l'autre. LAM RESEARCH KIYO FX est équipé d'un module avancé Etch/Asher, conçu pour fournir un débit accru et une uniformité de débit améliorée pour les processus de gravure et de cueillette. Le procédé de gravure/cueillette est adapté aux couches et matériaux spécifiques gravés ou cendrés. L'unité est capable de délivrer des taux de gravure allant jusqu'à 95 % dans les applications semi-conductrices et des taux d'aspiration allant jusqu'à 60 %. En plus de son puissant module de gravure/ashing, KIYO FX dispose également d'un certain nombre d'autres fonctionnalités qui aident à améliorer les performances et l'efficacité pendant le processus de gravure et ashing. LAM RESEARCH KIYO FX comprend un gyroscope ultra-haute fréquence très précis et un entraînement de quill, fournissant un mouvement précis du plateau pendant la gravure et le cendrage. Cette précision et ce contrôle accrus améliorent considérablement l'uniformité des processus et aident à s'assurer que chaque couche est gravée et cendrée de façon cohérente. KIYO FX comprend également un outil de mesure personnalisé qui peut aider à déterminer les paramètres de gravure/ashing les plus appropriés pour un processus donné avant le démarrage de la machine. Cela se fait en mesurant les uniformités de gravure et de cueillette avant et après gravure et cueillette, fournissant des données pour la validation de précision et l'optimisation des processus. LAM RESEARCH KIYO FX est conçu pour les processus manuels et automatisés, et offre un certain nombre d'options pour le fonctionnement. L'outil a la capacité d'être automatisé, avec une gamme complète de recettes paramétriques personnalisables qui peuvent être réglés et stockés par l'utilisateur. De plus, l'actif comporte également un processus intégré de collecte de données et de présentation de rapports qui permet l'évaluation complète des résultats du processus. KIYO FX est un modèle de gravure et d'ashing qui offre un débit et une uniformité exceptionnels, permettant d'améliorer les rendements et l'optimisation des processus. Utilisant un contrôleur numérique, un module de gravure/ashing avancé, des mouvements précis de plateaux, ainsi que la collecte et le reporting de données, LAM RESEARCH KIYO FX fournit une solution idéale pour l'graveur/asher des fabricants travaillant avec plusieurs couches de matériaux numériques.
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