Occasion LAM RESEARCH Kiyo Poly #9353174 à vendre en France

LAM RESEARCH Kiyo Poly est un appareil anisotrope de pointe pour gravure anisotrope des photorésistes et des films de polymères. Le système est conçu pour assurer un contrôle précis de la sélectivité, des profils de gravure anisotrope et une excellente uniformité des matériaux. La technologie combine la puissance de polarisation par radiofréquence (RF) et courant continu (DC), des recettes préétablies et une chambre à vide abritant les plaquettes de procédé. Kiyo Poly est équipé d'un graveur à courant continu à quatre chambres et d'un générateur RF à cinq électrodes intégré dans une seule unité compacte. Cette machine s'appuie sur une gamme de procédés de gravure pour obtenir une gravure optimisée des photorésistes, des films de polymères et même des échantillons de nanotubes de carbone. Il offre une sélectivité supérieure et des profils avec uniformité sur de grandes surfaces. Le procédé de gravure à sec de Kiyo est alimenté par des gaz de gravure tels que le chlore (Cl2), le trifluorure d'azote (NF3) et le fluorure d'éthylène renforcé thermiquement (TEF) qui sont utilisés en plusieurs combinaisons selon le matériau à graver. Les éléments chauffants sont utilisés pour générer les niveaux de température requis pendant les données de contrôle du processus et sont surveillés automatiquement par le contrôleur de processus embarqué. La chimie et les paramètres de gravure sont gérés et optimisés à l'aide du logiciel de surveillance de profil de gravure qui utilise une boucle de rétroaction numérique complète pour ajuster les paramètres en temps réel. Les recettes préprogrammées stockées dans le contrôleur de processus de l'outil fournissent une gravure polyvalente de différents types de matériaux. L'utilisation de gaz de gravure en combinaison avec la puissance de polarisation RF et la puissance de polarisation continue pour graver électrochimiquement des photorésistes, des polymères et d'autres matériaux produit un contrôle précis du profil et une vitesse de gravure idéale. L'utilisateur peut définir la sélectivité de la gravure et peut même ajuster la recette en fonction de la forme du matériau de l'échantillon. Un chargeur automatique de plaquettes permet à l'actif de traiter plusieurs substrats simultanément, produisant une excellente répétabilité, précision et cohérence. LAM RESEARCH Kiyo Poly est un graveur polyvalent, économique et fiable adapté à un large éventail d'industries telles que les semi-conducteurs, la photovoltaïque, les télécommunications et le médical. Ses caractéristiques avancées et sa conception robuste en font un choix fiable pour la gravure d'une gamme de substrats avec une uniformité, une précision et une répétabilité supérieures.