Occasion LAM RESEARCH Kiyo #9282757 à vendre en France
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Vendu
ID: 9282757
Poly etcher
(3) Chambers (PM2, 3, 4)
With microwave (PM1)
MF (EFEM / TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS A419-42-212 IPump (Ontool pump)
(4) GE 605-109114-001 CPU
(4) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(4) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
WATLOW 778-900046-701 Temperature controller
(3) WATLOW 778-900046-301 Temperature controllers
(3) LAM RESEARCH 810-495659-006 ESC Power supplies
(3) OCEAN OPTICS 685-801852-002 OES
MKS VDMB-23398 VODM
ASTEX AX2630NRC3-Q Microwave source
(3) LAM RESEARCH 839-019090-328 ESC
IGS Gas box
Gas line:
(3) Gas 12 HORIBA Z300
(3) Gas 11 LAM RESEARCH 797-026724-303
(3) Gas 10 HORIBA Z300
(3) Gas 9 LAM RESEARCH 797-026724-508
(3) Gas 8 HORIBA Z300
(3) Gas 7 LAM RESEARCH 797-026724-509
(3) Gas 6 HORIBA Z300
(3) Gas 5 HORIBA Z300
(4) Gas 4 HORIBA Z300
(3) Gas 3
(3) Gas 2 LAM RESEARCH 797-026724-525
(3) Gas1 LAM RESEARCH 797-0267724-624
(3) MKS 649A-25014 He UPC
UNIT UFC1661 O2
UNIT UFC1661 N2
(3) MKS E28B-23747 Process guages
HPS 109070019-CE TM vacuum guage
(2) HASTING HPM 2002 OBE Air lock vacuum guages
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pumps
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pump controllers
(4) ADIXEN ADS1202H PM Dry pumps
(3) RATCHETC BCU-E320F1 Chillers
(3) AE 660-024637-026 BIAS RF Generators
(3) AE 660-900984-008 TCP RF Generators
(3) LAM RESEARCH 848-801420-017 BIAS RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 853-800120-112 TCP RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 834-030822-025 BIAS RF Cables
(3) LAM RESEARCH 834-030819-018 TCP RF Cables.
LAM RESEARCH Kiyo est un équipement de gravure/cendres à haut rendement et bon marché idéal pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices et d'autres applications connexes. Il est équipé d'une source de plasma à tube de quartz très efficace qui facilite la gravure à un rythme quatre fois plus rapide que les solutions précédentes avec une répétabilité améliorée. Kiyo offre également l'avantage d'améliorer le contrôle de la contamination, grâce à sa conception innovante qui nécessite un conditionnement minimal de la contamination. Cela lui permet d'atteindre des niveaux extrêmement bas de contamination des procédés et des particules. Il permet également aux utilisateurs d'effectuer plusieurs étapes de traitement des plaquettes avec un seul système, ce qui entraîne des économies importantes en raison de la réduction de la maintenance des outils et des temps de cycle. Outre l'amélioration de la vitesse et de la qualité du traitement des plaquettes, l'interface utilisateur intuitive de LAM RESEARCH Kiyo permet aux opérateurs de programmer facilement l'unité pour des performances optimales, tandis que ses caractéristiques de sécurité avancées offrent une meilleure protection contre les matières dangereuses. Cette machine est capable d'atteindre des taux de gravure élevés avec un contrôle ultra précis de la tension et de la pression, ainsi qu'un fonctionnement à basse température. Kiyo peut être configuré pour traiter un large éventail de matériaux, allant de divers métaux, polymères et silicures aux matériaux les plus difficiles à graver tels que les carbures de silicium et les nitrures. En outre, il peut être déployé de manière transparente dans les séries de production, grâce à des fonctionnalités telles que des recettes programmables à la volée et des transferts automatisés de recettes. L'outil offre également des capacités de surveillance et de diagnostic avancées, de sorte que les utilisateurs peuvent rapidement identifier et corriger les erreurs. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Kiyo est un atout de gravure incroyablement avancé qui offre des capacités de pointe de l'industrie à un coût abordable. Son interface graphique intuitive simplifie la formation, et sa rapidité et sa qualité inégalées en font une solution idéale pour les organisations qui nécessitent des cycles de production courts et des produits de haute qualité.
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