Occasion LAM RESEARCH LF 4500 #9245075 à vendre en France

LAM RESEARCH LF 4500 est un outil de gravure/cueillette avancé utilisé pour les opérations de gravure ionique réactive (RIE) et de cueillette. Cet etcher/asher offre des performances supérieures avec une flexibilité de processus avancée pour une large gamme d'applications RIE et ashing. LF 4500 dispose d'un design robuste comprenant une chambre à plasma haute vitesse avec un grand loadlock, et un logiciel de recette rapide et précis. Cet etcher/asher est équipé d'un détecteur d'extrémité multizone, qui permet un nettoyage rapide de la chambre et des processus plus efficaces. LAM RESEARCH LF 4500 est capable de réaliser des processus de gravure et de cueillette dans un seul outil. Les opérations de gravure avec LF 4500 sont réalisées à l'aide d'un mélange gazeux SF6 et O2. Les taux de gravure sont réglables selon le type de procédé et de substrat utilisé. LAM RESEARCH LF 4500 est capable de fournir une gravure de haute précision avec peu de variabilité. Le LF 4500 offre également une gamme de procédés de cendrage, y compris des options de cendrage rapide et de haute précision en acier inoxydable. Cet etcher/asher utilise un bain à remous de vapeur fluoro-organique pour obtenir un ashing chimique. Cette méthode offre un excellent contrôle de la propreté de la chambre et des résultats de processus cohérents. LAM RESEARCH LF 4500 dispose d'un système logiciel de recette entièrement intégré et facile à utiliser. Ce logiciel permet aux utilisateurs de programmer rapidement des recettes pour les opérations de gravure et d'ashing, ce qui facilite l'obtention des résultats de processus souhaités. Le système comprend également des fonctions avancées de contrôle de processus pour un meilleur contrôle de la gravure et de la cendre. Dans l'ensemble, le LF 4500 est un système de gravure et de cueillette fiable et avancé. Il offre une flexibilité de processus puissante, des taux de gravure précis et des opérations de gravure et de cendrage rapides. Grâce aux capacités de haute performance de LAM RESEARCH LF 4500 et à son logiciel de recette facile à utiliser, les utilisateurs sont en mesure d'obtenir rapidement et de façon fiable des résultats supérieurs pour une variété d'applications de parage, de métallisation et d'ouvertures de Mosfet/Masque.