Occasion LAM RESEARCH Metal45 #9351454 à vendre en France

LAM RESEARCH Metal45 est un graveur/asher CVD conçu pour le traitement à haut débit de plaquettes semi-conductrices. Metal45 offre une flexibilité de procédé de pointe et est capable d'une intégration transparente dans un environnement de production. Les caractéristiques de LAM RESEARCH Metal45 comprennent l'uniformité du plasma conforme, des capacités de chargement et de déchargement supérieures et un contrôle optimisé des processus. Ces capacités en font un graveur/asher idéal pour graver et aspirer un large éventail de matériaux tels que Cu, Al, TiN, et des métaux et des matières organiques plus exigeants. Metal45 prend en charge les applications standard de gravure latérale et de gravure latérale. Il utilise une paire de sources de plasma à haute densité hors axe indépendantes pour assurer des taux de gravure et de cendres très uniformes. LAM RESEARCH Metal45 utilise également un équipement propriétaire 3SICARD™ pour contrôler et définir les paramètres du processus, ce qui permet d'assurer des résultats de qualité constante. Metal45 est un système automatisé avec une empreinte compacte. Il est conçu pour une intégration facile dans une ligne de production et fournit une interface logicielle intuitive pour la gravure et le traitement des cendres. L'unité automatisée est entièrement configurable pour optimiser le processus des besoins de chaque substrat. LAM RESEARCH Metal45 est également équipé d'une capacité unique de sur-gravure et de re-gravure, permettant d'affiner les paramètres de processus pendant les opérations de gravure et de cendres. Metal45 machine est conçue pour informer les opérateurs en temps réel via le panneau d'opérateur graphique de l'outil, ce qui facilite le suivi des performances du processus. LAM RESEARCH Le design ultramoderne de Metal45 offre également une fiabilité et une répétabilité de processus élevées, ce qui en fait un graveur/asher idéal pour une production à grande échelle. En outre, Metal45 est certifié et conforme à SEMI S2-0200 et à la norme commune de l'industrie (CIS) pour les systèmes de gravure par lots à haut volume. En conclusion, LAM RESEARCH Metal45 est un graveur/asher robuste à haut débit conçu pour le traitement fiable, reproductible et précis d'un large éventail de types de matériaux. Les caractéristiques avancées de l'actif le rendent idéal pour l'environnement de production à grande échelle.