Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Speed #9293846 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed est un graveur/asher conçu pour des applications industrielles. Il s'agit d'un équipement entièrement automatisé conçu pour offrir une gravure rapide, précise et répétable des plaquettes semi-conductrices. Il intègre des commandes logicielles avancées pour fournir un contrôle précis pour chaque étape du processus. Le système comprend une chambre de traitement, et une unité de traitement de plaquettes pour le prétraitement, le traitement et le post-traitement de plaquettes avec une large gamme de liquides ou de gaz courants. Il peut être utilisé pour la gravure et la cueillette de cuivre, d'aluminium ou d'autres alliages métalliques. NOVELLUS Concept 2 Speed est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 12 pouces (304,8 mm) de diamètre avec une planéité de surface de 0,5 µm en moyenne. La machine de manutention de la plaquette se compose d'une chambre de transfert, d'une veste de plaquette et d'un ascenseur à cassettes. La chambre de transfert est alimentée par un générateur RF qui est monté dans le toit de la chambre, et un collecteur de cuivre qui effectue l'isolement physique des plaquettes de procédé. De plus, LAM RESEARCH Concept 2 Speed dispose d'un outil de nettoyage plasma conçu pour améliorer le processus de nettoyage des plaquettes. Il est équipé de deux générateurs RF, un supérieur pour le dépôt par pulvérisation et un inférieur pour la gravure RF. Avec l'aide de deux turbopropulseurs, l'actif de nettoyage du plasma maintient la pression supérieure statique pendant de longues périodes. Concept 2 Speed dispose également d'un contrôleur, qui est un élément essentiel pour un contrôle précis du processus. Il comprend un réglage précis du moment, de la température, de la pression, du courant et de la tension, assurant des résultats uniformes et précis. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed fournit des commandes de fonctionnement simples et précises et offre un excellent panneau d'affichage pour une vision claire des paramètres de la chambre de processus. En outre, il est équipé d'un puissant scanner à commande logicielle permettant le traitement simultané de plusieurs plaquettes. Il a la capacité de stocker trois recettes différentes, chacune jusqu'à 256 étapes. Cela permet de gagner de la complexité et du temps dans la production. Le résultat final est un processus constamment sécurisé et répétable contrôlé par une plate-forme logicielle.