Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9235078 à vendre en France

LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed
ID: 9235078
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12" 2006 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est un graveur/asher utilisé pour le traitement des plaquettes. C'est une combinaison de deux systèmes différents, le LAM Etcher/Asher et NOVELLUS Asher. Cet équipement est conçu pour répondre à une grande variété de besoins de traitement des plaquettes, y compris les étapes simples des plaquettes, la planarisation et le dépôt de couches minces. Le LAM Etcher/Asher est un système de gravure plasma avancé conçu pour la fixation précise des plaquettes. Il utilise une configuration source du PCI en deux étapes pour générer un processus de gravure très uniforme et efficace. Cette unité utilise une machine de gravure à l'eau forte de Microzone™ faite breveter pour fournir précis, la gravure à l'eau forte de haut débit avec la résolution optimale. Il est conçu pour le contrôle des paramètres de gravure sur tous les substrats, ce qui contribue à assurer l'uniformité des résultats des processus. La chambre de gravure est très fiable, et peut supporter un large éventail de besoins de traitement des plaquettes. NOVELLUS Speed Asher est un outil de cendrier avancé qui peut être utilisé conjointement avec le LAM Etcher/Asher. Il est conçu pour fournir des processus thermiques précis et uniformes avec les temps de cycle les plus rapides possibles. Le procédé High LAM RESEARCH Speed est utilisé pour déposer des couches minces de dioxyde de silicium sur des plaquettes. Cet actif fournit un traitement thermique rapide et précis des plaquettes pour un large éventail d'applications de plaquettes, y compris la passivation, la planarisation et la métallisation. Le coussin peut également être utilisé pour le nettoyage de surface et le nettoyage de surfaces de plaquettes avant le refoulement de la soudure. La combinaison du LAM Etcher/Asher et du Speed Asher fournit un modèle de traitement des plaquettes très fiable et productif pour la recherche et la production. Cet équipement fournit un débit élevé, des résultats de processus précis et une uniformité de processus, avec les temps de cycle rapide fournis par LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Asher. Son système de contrôle avancé et facile à utiliser garantit des résultats rapides et cohérents, et aide les utilisateurs à configurer et optimiser rapidement leurs paramètres de processus. Le LAMNOVELLUS Speed Asher est un moyen fiable et économique de traiter des plaquettes pour diverses applications.
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