Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9293848 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est un outil de gravure et d'ashing utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir un débit élevé en tirant parti des technologies innovantes qui permettent une production plus rapide. Le système utilise un processus de gravure et de cendrage en deux étapes, qui commence par une étape de gravure chimique. Au cours de cette étape, un plasma est généré dans une chambre à vide au sein de la plate-forme NOVELLUS Speed. Des composés chimiques tels que le Cl2 sont ensuite introduits dans le plasma, ce qui conduit à un procédé de gravure de haute précision. Les éléments gravés sont ensuite protégés par un film protecteur post-gravure, qui permet des étapes ultérieures de cendrage et de dénudage. L'étape de cueillette utilise une combinaison tridirectionnelle unique de O2, He et Ar, pour fournir un processus de cueillette propre et efficace sans avoir besoin d'une accumulation excessive de particules. En outre, la plate-forme LAM RESEARCH Speed est capable de contrôler la pression à l'intérieur de la chambre, assurant des conditions de gravure et d'ashing précises. L'algorithme avancé de Speed permet également à la plate-forme de prendre des décisions indépendantes sur la façon de s'adapter à la pression et à la température de la chambre pour optimiser les résultats de gravure et d'ashing. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est bien adapté à une variété de processus et peut répondre aux besoins les plus critiques en matière de traitement des semi-conducteurs. Ses capacités à haut débit en font une option attrayante pour les processus nécessitant une gravure et un cendrage avancés, tels que les dispositifs MEMS, les transistors à effet de finition (FET) et l'intégration à très grande échelle (VLSI). De plus, NOVELLUS Speed est capable de manipuler diverses tailles, formes et épaisseurs de plaquettes. LAM RESEARCH Speed est conçu avec une interface utilisateur intuitive et est également équipé d'un système de mesure adaptatif, qui permet à l'outil de fournir une analyse de données en temps réel pour une meilleure optimisation des performances. Cet outil puissant est également très fiable, avec un faible taux d'arrêt et un débit de plaquette constant. Dans l'ensemble, Speed est un système de gravure et de cueillette avancé qui offre un débit élevé et une précision inégalée pour les applications de balisage. C'est un choix idéal pour ceux qui exigent des performances supérieures dans leurs procédés de fabrication de semi-conducteurs.