Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9315261 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est un graveur/asher utilisé pour le traitement de composants semi-conducteurs. La machine est conçue pour produire des plaquettes de silicium de haute qualité avec un rendement et des performances excellents. NOVELLUS Speed utilise des procédés de gravure physique et de dépôt chimique de haute précision, à haut débit, à la fois par voie humide et par voie sèche. LAM RESEARCH Speed est conçu pour permettre la production efficace de circuits intégrés mono-structurés (ou standard), de MEM (micro-systèmes électromécaniques) et de dispositifs photoniques. Speed utilise deux technologies pour le traitement des plaquettes : la gravure physique et le dépôt chimique. La gravure physique est un processus où les couches sont gravées à l'aide d'une solution chimique ou d'un gaz pour créer la structure désirée. Le dépôt chimique est un processus dans lequel une réaction chimique de deux substances provoque le dépôt d'une matière sur une surface ou à l'intérieur d'une couche. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed permet de modeler divers matériaux et épaisseurs, ainsi que la capacité de contrôler l'intégrité de la surface. NOVELLUS Speed dispose d'un équipement d'inspection visuelle en ligne haute résolution qui inspecte visuellement et mesure de multiples aspects de la plaquette de silicium. Ce système offre des rendements journaliers plus élevés, un débit plus élevé, une meilleure qualité et des coûts d'entretien réduits. LAM RESEARCH Speed comprend également une unité de support de substrat programmable, ainsi que l'automatisation de la charge et du déchargement du substrat. Ceci assure un bon support et une bonne manipulation de la plaquette, et assure que la plaquette ne se détériore pas au cours du traitement. La vitesse permet la surveillance des processus avec l'utilisation d'une machine d'acquisition de données en temps réel, fournissant une rétroaction quasi instantanée des améliorations ou des problèmes de processus. Un outil intégré de stockage de données à bord stocke toutes les données de processus pendant l'exécution, assurant un contrôle complet du processus de gravure/dépôt. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed dispose également du logiciel Flexible Processing Center (FPC) de LAM, permettant un meilleur contrôle des paramètres matériels et des processus avec des réglages en temps réel. Le FPC permet l'exécution de recettes avec souplesse, permettant de compléter un large éventail de processus et d'applications différents avec une plateforme unique. NOVELLUS Speed etcher/asher est un outil très fiable, high LAM RESEARCH Speed, économique et précis pour la fabrication de circuits intégrés, de MEM et d'appareils photoniques. En utilisant un contrôle automatisé des processus de haute précision et des technologies avancées d'inspection visuelle en ligne et de manipulation des substrats, Speed garantit une qualité et une répétabilité uniformes des plaquettes. Le logiciel FPC permet une programmation conviviale de recettes spécifiques et de contrôles de processus, permettant une fabrication polyvalente et efficace des plaquettes de silicium.